公开(公告)号：US08669463B2

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：US12909266

申请日：2010-10-21

申请人： Martin Dimer ,  Tina Schoessler ,  Thomas Knoth ,  Ralf Sturm ,  Uwe Graupner ,  Martin Thumsch ,  Hans-Christian Hecht

发明人： Martin Dimer ,  Tina Schoessler ,  Thomas Knoth ,  Ralf Sturm ,  Uwe Graupner ,  Martin Thumsch ,  Hans-Christian Hecht

IPC分类号： H01L31/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C14/024 ,  C03C17/3435 ,  C03C2217/94 ,  C23C14/086 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

摘要： A method is provided for depositing a transparent conductive oxide (TCO) layer on a substrate, in which contaminations of the layers of the layer system is reduced through the diffusion of material from the substrate, and whose layer properties in respect to coupling and transmission of light are optimized. For that purpose, a barrier layer, a seed layer and a transparent conductive oxide layer are directly successively deposited on the substrate. Also, a thin-film solar cell is described which comprises such a transparent conductive oxide layer.

摘要翻译： 提供了一种用于在衬底上沉积透明导电氧化物（TCO）层的方法，其中层系统的层的污染通过材料从衬底的扩散而减少，并且其层的属性相对于耦合和传输 光被优化。 为此，阻挡层，种子层和透明导电氧化物层直接依次沉积在基板上。 此外，描述了包括这种透明导电氧化物层的薄膜太阳能电池。