公开(公告)号：US20120242667A1

公开(公告)日：2012-09-27

申请号：US13052943

申请日：2011-03-21

申请人： Sanjeev Kaushal ,  Kenji Sugishima ,  Sukesh Janubhai Patel ,  Robert Filman ,  Wolfgang Polak ,  Orion Wolfe ,  Jessie Burger

发明人： Sanjeev Kaushal ,  Kenji Sugishima ,  Sukesh Janubhai Patel ,  Robert Filman ,  Wolfgang Polak ,  Orion Wolfe ,  Jessie Burger

IPC分类号： G06T11/20

CPC分类号： G06N99/005 ,  G05B23/0237 ,  G06F3/04842

摘要： The subject disclosure relates to automatically learning relationships among a plurality of manufacturing tool parameters as applied to arbitrary semiconductor manufacturing tools and a graphical user interface that is supported, at least in part, by an autonomous learning system. The graphical user interface can create one or more matrixes based on received data and can further generate additional matrices by transforming the one or more matrixes. A series of windows can be output, wherein the series of windows, provide performance analysis that comprises a matching between a focus chamber and a reference chamber. In an aspect, the focus chamber and the reference chamber can be different chambers. In another aspect, the focus chamber and the reference chamber can be the same chamber, which provides analysis of the deterioration in performance of the same chamber over time.

摘要翻译： 本公开涉及自动学习应用于任意半导体制造工具的多个制造工具参数之间的关系以及至少部分由自主学习系统支持的图形用户界面。 图形用户界面可以基于接收到的数据创建一个或多个矩阵，并且可以通过转换一个或多个矩阵来进一步生成附加矩阵。 可以输出一系列窗口，其中该系列窗口提供包括聚焦室和参考室之间的匹配的性能分析。 在一个方面，聚焦室和参考室可以是不同的室。 在另一方面，聚焦室和参考室可以是相同的室，其提供了相同室随时间的性能劣化的分析。

公开(公告)号：US08723869B2

公开(公告)日：2014-05-13

申请号：US13052943

申请日：2011-03-21

申请人： Sanjeev Kaushal ,  Kenji Sugishima ,  Sukesh Janubhai Patel ,  Robert Filman ,  Wolfgang Polak ,  Orion Wolfe ,  Jessie Burger

发明人： Sanjeev Kaushal ,  Kenji Sugishima ,  Sukesh Janubhai Patel ,  Robert Filman ,  Wolfgang Polak ,  Orion Wolfe ,  Jessie Burger

IPC分类号： G06T11/20

CPC分类号： G06N99/005 ,  G05B23/0237 ,  G06F3/04842

摘要： The subject disclosure relates to automatically learning relationships among a plurality of manufacturing tool parameters as applied to arbitrary semiconductor manufacturing tools and a graphical user interface that is supported, at least in part, by an autonomous learning system. The graphical user interface can create one or more matrixes based on received data and can further generate additional matrices by transforming the one or more matrixes. A series of windows can be output, wherein the series of windows, provide performance analysis that comprises a matching between a focus chamber and a reference chamber. In an aspect, the focus chamber and the reference chamber can be different chambers. In another aspect, the focus chamber and the reference chamber can be the same chamber, which provides analysis of the deterioration in performance of the same chamber over time.

摘要翻译： 本公开涉及自动学习应用于任意半导体制造工具的多个制造工具参数之间的关系以及至少部分由自主学习系统支持的图形用户界面。 图形用户界面可以基于接收到的数据创建一个或多个矩阵，并且可以通过转换一个或多个矩阵来进一步生成附加矩阵。 可以输出一系列窗口，其中该系列窗口提供包括聚焦室和参考室之间的匹配的性能分析。 在一个方面，聚焦室和参考室可以是不同的室。 在另一方面，聚焦室和参考室可以是相同的室，其提供了相同室随时间的性能劣化的分析。