公开(公告)号：US06433473B1

公开(公告)日：2002-08-13

申请号：US09258021

申请日：1999-02-25

申请人： Kishore K. Chakravorty ,  Fariborz Nadi ,  Christopher J. Spindt ,  Ronald L. Hansen ,  Colin D. Stanners

发明人： Kishore K. Chakravorty ,  Fariborz Nadi ,  Christopher J. Spindt ,  Ronald L. Hansen ,  Colin D. Stanners

IPC分类号： H01J162

CPC分类号： H01J9/148 ,  H01J3/022 ,  H01J29/02

摘要： A structure and method for forming an column electrode for a field emission display device wherein the column electrode is disposed beneath the field emitters and the row electrode. In one embodiment, the present invention comprises depositing a resistor layer over portions of a column electrode. Next, an inter-metal dielectric layer is deposited over the column electrode. In the present embodiment, the inter-metal dielectric layer is deposited over portions of the resistor layer and over pad areas of the column electrode. After the deposition of the inter-metal dielectric layer, the column electrode is subjected to an anodization process such that exposed regions of the column electrode are anodized. In so doing, the present invention provides a column electrode structure which is resistant to column to row electrode shorts and which is protected from subsequent processing steps.

摘要翻译： 一种用于形成用于场发射显示装置的列电极的结构和方法，其中列电极设置在场发射极和行电极之下。 在一个实施例中，本发明包括在列电极的部分上沉积电阻层。 接下来，在列电极上沉积金属间介电层。 在本实施例中，金属间介电层沉积在列电极的电阻层和焊盘区域的部分上。 在沉积金属间电介质层之后，对柱电极进行阳极氧化处理，使得阳极氧化柱电极的露出区域。 在这样做时，本发明提供了一种对柱对电极短路有抵抗力的列电极结构，并且不受后续处理步骤的保护。