公开(公告)号：US20050249445A1

公开(公告)日：2005-11-10

申请号：US11112870

申请日：2005-04-21

申请人： William Steier ,  Hyun-Chae Song ,  Min-Cheol Oh ,  Seh-Won Ahn

发明人： William Steier ,  Hyun-Chae Song ,  Min-Cheol Oh ,  Seh-Won Ahn

IPC分类号： G02B6/12 ,  G02B6/138 ,  G02F1/035 ,  G02F1/065 ,  G02F1/225

CPC分类号： G02F1/065 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/138 ,  G02F1/225

摘要： An electro-optic modulator is formed from all flexible materials, to form a flexible electro-optic modulator. The formation process uses a photoresist which selectively adheres to one material more than it adheres to another material. This allows selective liftoff, where only parts of the substrate are lifted off. For example, this allows silicon ends on the modulator, thereby facilitating pig tailing and also facilitates handling. Another aspect describes testing the bending radius.

摘要翻译： 由所有柔性材料形成电光调制器，以形成柔性电光调制器。 形成方法使用光致抗蚀剂，其选择性地粘附到一种材料比它粘附到另一种材料上。 这允许选择性提升，其中只有部分基板被提起。 例如，这允许硅末端在调制器上，从而便于猪尾巴并且还便于处理。 另一方面描述测试弯曲半径。

公开(公告)号：US07366363B2

公开(公告)日：2008-04-29

申请号：US11112870

申请日：2005-04-21

申请人： William H. Steier ,  Hyun-Chae Song ,  Min-Cheol Oh ,  Seh-Won Ahn

发明人： William H. Steier ,  Hyun-Chae Song ,  Min-Cheol Oh ,  Seh-Won Ahn

IPC分类号： G02F1/035 ,  G02F1/295 ,  H01L21/70

CPC分类号： G02F1/065 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/138 ,  G02F1/225

摘要： An electro-optic modulator is formed from all flexible materials, to form a flexible electro-optic modulator. The formation process uses a photoresist which selectively adheres to one material more than it adheres to another material. This allows selective liftoff, where only parts of the substrate are lifted off. For example, this allows silicon ends on the modulator, thereby facilitating pig tailing and also facilitates handling. Another aspect describes testing the bending radius.

摘要翻译： 由所有柔性材料形成电光调制器，以形成柔性电光调制器。 形成方法使用光致抗蚀剂，其选择性地粘附到一种材料比它粘附到另一种材料上。 这允许选择性提升，其中只有部分基板被提起。 例如，这允许硅末端在调制器上，从而便于猪尾巴并且还便于处理。 另一方面描述测试弯曲半径。