公开(公告)号：US20070085033A1

公开(公告)日：2007-04-19

申请号：US11243363

申请日：2005-10-03

申请人： Benyamin Buller ,  William DeVore ,  Juergen Frosien ,  Xinrong Jiang ,  Richard Lozes ,  Henry Pearce-Percy ,  Dieter Winkler ,  Steven Coyle ,  Helmut Banzhof

发明人： Benyamin Buller ,  William DeVore ,  Juergen Frosien ,  Xinrong Jiang ,  Richard Lozes ,  Henry Pearce-Percy ,  Dieter Winkler ,  Steven Coyle ,  Helmut Banzhof

IPC分类号： G21G5/00

CPC分类号： H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J2237/31754

摘要： An electron beam column comprises a thermal field emission electron source to generate an electron beam, an electron beam blanker, a beam shaping module, and electron beam optics comprising a plurality of electron beam lenses. In one version, the optical parameters of the electron beam blanker, beam shaping module, and electron beam optics are set to achieve an acceptance semi-angle β of from about ¼ to about 3 mrads, where the acceptance semi-angle β is the half the angle subtended by the electron beam at the writing plane. The beam-shaping module can also operate as a single lens using upper and lower projection lenses. A multifunction module for an electron beam column is also described.

摘要翻译： 电子束柱包括产生电子束的热场发射电子源，电子束消除器，光束整形模块和包括多个电子束透镜的电子束光学器件。 在一个版本中，电子束消隐器，光束整形模块和电子束光学器件的光学参数被设置为实现约¼至约3mrads的接受半角β，其中接受半角β是半 在写平面处电子束对着的角度。 光束成形模块也可以使用上下投影透镜作为单个透镜进行操作。 还描述了用于电子束柱的多功能模块。