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发明申请
METALLIC THIN FILM PIEZORESISTIVE TRANSDUCTION IN MICROMECHANICAL AND NANOMECHANICAL DEVICES AND ITS APPLICATION IN SELF-SENSING SPM PROBES 有权
标题翻译：微电子和纳米器件中的金属薄膜PIEZORESISTIVE传输及其在自感觉SPM探测中的应用

公开(公告)号：US20090038404A1

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：US12164620

申请日：2008-06-30

申请人： Hongxing Tang , Mo Li , Michael L. Roukes

发明人： Hongxing Tang , Mo Li , Michael L. Roukes

IPC分类号： G01B7/16

CPC分类号： G01L1/18 , G01L1/20 , G01N33/54346 , G01N33/54373 , G01Q20/04 , G01Q60/38

摘要： Thin metallic films are used as the piezoresistive self-sensing element in microelectromechanical and nanoelectromechanical systems. The specific application to AFM probes is demonstrated.

摘要翻译： 薄金属膜用作微机电和纳米机电系统中的压阻自感元件。演示了AFM探针的具体应用。