公开(公告)号：US5925213A

公开(公告)日：1999-07-20

申请号：US938807

申请日：1997-09-26

申请人： Shinya Yamasaki

发明人： Shinya Yamasaki

IPC分类号： H01L21/304 ,  H01L21/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01L21/02052 ,  H01L21/67057

摘要： In a wet processing apparatus including a first processing chamber for carrying out a first process with first chemicals and a second processing chamber for carrying out a second process with second chemicals, a separation cell is provided between the first and second processing chambers and receives pure water therein. Also, a movable partitioning plate is provided between the first and second processing chambers, to partition the first processing chamber from the second processing chamber. A lower end of the movable partitioning plate is immersed below a surface of pure water of the separation cell.

摘要翻译： 在包括用第一化学品进行第一处理的第一处理室和用于用第二化学品进行第二处理的第二处理室的湿式处理装置中，在第一处理室和第二处理室之间设置分离单元并接收纯水 其中。 此外，在第一处理室和第二处理室之间设置可动分隔板，以将第一处理室与第二处理室分隔开。 可移动分隔板的下端浸入分离单元的纯水表面之下。