公开(公告)号：US20110140578A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12862577

申请日：2010-08-24

申请人： Sang Choon Ko ,  Chang Han Je ,  Ho Jun Ryu ,  Sung Sik Lee ,  Chi Hoon Jun

发明人： Sang Choon Ko ,  Chang Han Je ,  Ho Jun Ryu ,  Sung Sik Lee ,  Chi Hoon Jun

IPC分类号： H02N2/18

CPC分类号： H01L41/1138 ,  B60C23/0411 ,  H01L41/1136 ,  H02N2/186

摘要： Provided is a small piezoelectric power generator applied to a wireless sensor network system of a tire pressure monitoring system (TPMS) for monitoring an internal environment of a tire such as variation in air pressure in the tire. In particular, when the system, in which air pressure, temperature and acceleration sensors are mounted, installed in the tire is operated in the TPMS for an automobile, a small piezoelectric power generator for the TPMS can be used as a power source in place of a conventional battery. The piezoelectric power generator includes a substrate having an electrode for transmitting power to the exterior, a metal plate formed on the substrate, and a piezoelectric body disposed on the metal plate and transmitting the power generated by a piezoelectric material to the electrode.

摘要翻译： 提供了一种应用于轮胎压力监测系统（TPMS）的无线传感器网络系统的小型压电发电机，用于监测轮胎的内部环境，例如轮胎中的空气压力的变化。 特别地，当安装在轮胎中的气压，温度和加速度传感器的系统在用于汽车的TPMS中运行时，用于TPMS的小压电发电机可以用作电源来代替 常规电池。 压电发电机包括具有用于向外部传输电力的电极的基板，形成在基板上的金属板，以及设置在金属板上的压电体，并将由压电材料产生的电力传递到电极。

公开(公告)号：US07928388B2

公开(公告)日：2011-04-19

申请号：US12648161

申请日：2009-12-28

申请人： Seong Mok Cho ,  Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Sang Hoon Cheon ,  Chang Auck Choi

发明人： Seong Mok Cho ,  Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Sang Hoon Cheon ,  Chang Auck Choi

IPC分类号： G01J5/00

CPC分类号： G01J5/20

摘要： In an infrared detection sensor according to the present invention, all material constituting an upper portion of a sensing electrode in a supporting arm region is removed so that a supporting arm has low thermal conductivity. As a result, thermal conductivity of the infrared sensor structure is reduced, and the infrared detection sensor has excellent sensitivity.

摘要翻译： 在根据本发明的红外线检测传感器中，除去构成支撑臂区域中的感测电极的上部的所有材料，使得支撑臂具有低导热性。 结果，红外线传感器结构的导热性降低，红外线检测传感器具有良好的灵敏度。

公开(公告)号：US20110049366A1

公开(公告)日：2011-03-03

申请号：US12859466

申请日：2010-08-19

申请人： Woo Seok Yang ,  Sang Hoon Cheon ,  Seong Mok Cho ,  Ho Jun Ryu ,  Chang Auck Choi

发明人： Woo Seok Yang ,  Sang Hoon Cheon ,  Seong Mok Cho ,  Ho Jun Ryu ,  Chang Auck Choi

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  C09K3/00

CPC分类号： G01J5/04 ,  G01J5/046

摘要： A resistive material for a bolometer, a bolometer for an infrared detector using the material, and a method of manufacturing the bolometer are provided. In the resistive material, at least one element selected from the group consisting of nitrogen (N), oxygen (O) and germanium (Ge) is included in antimony (Sb). The resistive material has superior properties such as high temperature coefficient of resistance (TCR), low resistivity, a low noise constant, and is easily formed in a thin film structure by sputtering typically used in a complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) process, so that it can be used as a resistor for the bolometer for an uncooled infrared detector, and thus provide the infrared detector with superior temperature precision.

摘要翻译： 提供了用于测辐射热力计的电阻材料，用于使用该材料的红外探测器的测辐射热计，以及制造测辐射热计的方法。 在电阻材料中，选自氮（N），氧（O）和锗（Ge）中的至少一种元素包括在锑（Sb）中。 电阻材料具有优异的性能，例如高温电阻系数（TCR），低电阻率，低噪声常数，并且易于通过通常用于互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺中的溅射在薄膜结构中形成， 因此它可以用作非制冷红外探测器的辐射热计的电阻器，从而为红外检测器提供出色的温度精度。

公开(公告)号：US07696478B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US12182496

申请日：2008-07-30

申请人： Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Seong Mok Cho ,  Sang Hoon Cheon ,  Byoung Gon Yu ,  Chang Auck Choi

发明人： Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Seong Mok Cho ,  Sang Hoon Cheon ,  Byoung Gon Yu ,  Chang Auck Choi

IPC分类号： G01J5/00

CPC分类号： G01J5/20 ,  C22C1/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/3464

摘要： Provided are resistive materials for a microbolometer, a method for preparation of resistive materials and a microbolometer containing the resistive materials. The resistive materials for the microbolometer include an alloy of silicon and antimony or an alloy of silicon, antimony and germanium, which has a high TCR and a low resistance.

摘要翻译： 提供了用于微电热计的电阻材料，用于制备电阻材料的方法和包含电阻材料的微电热计。 用于微热辐射计的电阻材料包括硅和锑的合金或硅，锑和锗的合金，其具有高TCR和低电阻。

公开(公告)号：US20090152467A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：US12182456

申请日：2008-07-30

申请人： Sang Hoon Cheon ,  Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Seong Mok Cho ,  Byoung Gon Yu ,  Chang Auck Choi

发明人： Sang Hoon Cheon ,  Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Seong Mok Cho ,  Byoung Gon Yu ,  Chang Auck Choi

IPC分类号： G01J5/10 ,  H01L21/00

CPC分类号： G01J5/20 ,  G01J5/02 ,  G01J5/023

摘要： Provided are a multilayer-structured bolometer and a method of fabricating the same. In the multilayer-structured bolometer, the number of support arms supporting the body of a sensor structure is reduced to one, and two electrodes are formed on the one support arm. Thus, the sensor structure is electrically connected with a substrate through the only one support arm. According to the multilayer-structured bolometer and method of fabricating the bolometer, the thermal conductivity of the sensor structure is considerably reduced to remarkably improve sensitivity to temperature, and also the pixel size of the bolometer is reduced to obtain high-resolution thermal images. In addition, the multilayer-structured bolometer can have a high fill-factor due to a sufficiently large infrared-absorbing layer, and thus can improve infrared absorbance.

摘要翻译： 提供一种多层结构的测辐射热计及其制造方法。 在多层结构的测辐射热计中，支撑传感器结构的主体的支撑臂的数量减少到一个，并且在一个支撑臂上形成两个电极。 因此，传感器结构通过仅一个支撑臂与基板电连接。 根据多层结构的测辐射热计和制造测辐射热计的方法，传感器结构的导热性显着降低，显着提高了对温度的敏感性，还减小了测辐射热计的像素尺寸以获得高分辨率的热图像。 此外，由于具有足够大的红外线吸收层，多层结构的测辐射热计可以具有高的填充因子，因此可以提高红外吸收。

公开(公告)号：US20090152466A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：US12181871

申请日：2008-07-29

申请人： Seong Mok Cho ,  Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Sang Hoon Cheon ,  Byoung Gon Yu ,  Chang Auck Choi

发明人： Seong Mok Cho ,  Ho Jun Ryu ,  Woo Seok Yang ,  Sang Hoon Cheon ,  Byoung Gon Yu ,  Chang Auck Choi

IPC分类号： H01L27/14

CPC分类号： G01J5/20 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0207 ,  B81B2203/0118 ,  G01J5/02 ,  G01J5/023 ,  G01J5/024

摘要： Provided are a microbolometer having a cantilever structure and a method of manufacturing the same, and more particularly, a microbolometer having a three-dimensional cantilever structure, which is improved from a conventional two-dimensional cantilever structure, and a method of manufacturing the same. The method includes providing a substrate including a read-out integrated circuit and a reflective layer for forming an absorption structure, forming a sacrificial layer on the substrate, forming a cantilever structure having an uneven cross-section in the sacrificial layer, forming a sensor part isolated from the substrate by the cantilever structure, and removing the sacrificial layer.

摘要翻译： 本发明提供一种具有悬臂结构的微电热计及其制造方法，特别是具有三维悬臂结构的微电热计，其从传统的二维悬臂结构得到改进，及其制造方法。 该方法包括提供包括读出集成电路和用于形成吸收结构的反射层的衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层中形成具有不均匀横截面的悬臂结构，形成传感器部分 通过悬臂结构从衬底隔离，并去除牺牲层。