公开(公告)号：US08029685B2

公开(公告)日：2011-10-04

申请号：US11849683

申请日：2007-09-04

申请人： Hirokazu Komuro ,  Makoto Kurotobi ,  Tadashi Atoji ,  Takehito Okabe

发明人： Hirokazu Komuro ,  Makoto Kurotobi ,  Tadashi Atoji ,  Takehito Okabe

IPC分类号： G01D15/00

CPC分类号： B41J2/1642 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49401

摘要： A method of manufacturing a liquid ejection head and a liquid ejection head capable of preventing corrosion of electrodes are provided. The method of manufacturing a liquid ejection head includes: a step of forming porous silicon areas in portions of a silicon substrate where the liquid paths are to be formed; a step of forming in layers in the porous silicon areas a protective layer, a heating resistor layer, an electrode layer and a heat accumulation layer; a step of forming ink ejection openings in the silicon substrate; and a step of removing the porous silicon areas.

摘要翻译： 提供一种能够防止电极腐蚀的液体喷射头和液体喷射头的制造方法。 制造液体喷射头的方法包括：在要形成液体路径的硅衬底的部分中形成多孔硅区域的步骤; 在多孔硅区域中形成保护层，加热电阻层，电极层和蓄热层的步骤; 在硅衬底中形成喷墨口的步骤; 以及去除多孔硅区域的步骤。

公开(公告)号：US20100225712A1

公开(公告)日：2010-09-09

申请号：US12781218

申请日：2010-05-17

申请人： Takehito Okabe ,  Nobuhiko Sato ,  Makoto Kurotobi ,  Kenichi Takeda ,  Toshihiro Ifuku

发明人： Takehito Okabe ,  Nobuhiko Sato ,  Makoto Kurotobi ,  Kenichi Takeda ,  Toshihiro Ifuku

IPC分类号： B41J2/045

CPC分类号： B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49401

摘要： A method for manufacturing an inkjet head includes providing a piezoelectric substrate having a porous structure, a diaphragm on the porous structure, and a piezoelectric substance layer on the diaphragm, and forming a cavity by etching out the porous structure from the piezoelectric substrate.

摘要翻译： 一种制造喷墨头的方法包括：提供具有多孔结构的压电基片，多孔结构上的光阑以及隔膜上的压电物质层，通过从压电基片上蚀刻出多孔结构而形成空腔。

公开(公告)号：US20060049135A1

公开(公告)日：2006-03-09

申请号：US11215974

申请日：2005-09-01

申请人： Takehito Okabe ,  Nobuhiko Sato ,  Makoto Kurotobi ,  Kenichi Takeda ,  Toshihiro Ifuku

发明人： Takehito Okabe ,  Nobuhiko Sato ,  Makoto Kurotobi ,  Kenichi Takeda ,  Toshihiro Ifuku

IPC分类号： G01D15/00 ,  G11B5/127

CPC分类号： B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49401

摘要： A method for manufacturing an inkjet head includes providing a piezoelectric substrate having a porous structure, a diaphragm on the porous structure, and a piezoelectric substance layer on the diaphragm, and forming a cavity by etching out the porous structure from the piezoelectric substrate.

摘要翻译： 一种制造喷墨头的方法包括：提供具有多孔结构的压电基片，多孔结构上的光阑以及隔膜上的压电物质层，通过从压电基片上蚀刻出多孔结构而形成空腔。