公开(公告)号：US20140265025A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：US14199889

申请日：2014-03-06

Applicant: Seagate Technology LLC

Inventor： René van de Veerdonk ,  XiaoMin Yang ,  Kim Lee ,  Justin Hwu

IPC: B29C59/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  G11B5/746 ,  G11B5/855

Abstract: The embodiments disclose a method including depositing a resist layer using a mixture of several different length polymer strings materials spanning a range of natural periodicity, and imprinting the mixture of several different length polymer strings using sheared guiding patterns to increase flexibility.

Abstract translation: 实施方案公开了一种方法，其包括使用几种不同长度的聚合物串材料的混合物沉积抗蚀剂层，该材料跨越一定范围的天然周期，并使用剪切的导向图案印刷几种不同长度的聚合物串的混合物以增加挠性。