公开(公告)号：US20060086371A1

公开(公告)日：2006-04-27

申请号：US11255530

申请日：2005-10-20

申请人： Akinori Ohkubo ,  Kenji Yamazoe ,  Hiroshi Osawa

发明人： Akinori Ohkubo ,  Kenji Yamazoe ,  Hiroshi Osawa

IPC分类号： B08B3/12

CPC分类号： G03F7/70916 ,  B08B7/0035 ,  B08B7/0042 ,  G03F7/70925

摘要： A particle remover includes an irradiation unit for irradiating plural lights onto a target from different directions, and for scanning the lights on the target, and a collector for collecting particles carried as a result of scanning of the lights.

摘要翻译： 颗粒去除器包括：用于从不同方向将多个光照射到靶上并用于扫描靶上的光的照射单元和用于收集由于扫描光而携带的颗粒的收集器。

公开(公告)号：US20060066830A1

公开(公告)日：2006-03-30

申请号：US11233657

申请日：2005-09-23

申请人： Kenji Yamazoe

发明人： Kenji Yamazoe

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03B27/54

摘要： A light modulator for modulating a phase distribution of incident light includes an element that provides the incident light with three or more types of phase differences, wherein the element includes three or more displaceable light reflective bands, and wherein the light modulator has plural pixels each including the element.

摘要翻译： 用于调制入射光的相位分布的光调制器包括提供具有三种或更多种类型的相位差的入射光的元件，其中该元件包括三个或更多个位移光反射带，并且其中该光调制器具有多个像素，每个像素包括 元素。