公开(公告)号：US20130113925A1

公开(公告)日：2013-05-09

申请号：US13667467

申请日：2012-11-02

申请人： Jae Wan Kim ,  Jong Ahn Kim ,  Dong-Won Lee

发明人： Jae Wan Kim ,  Jong Ahn Kim ,  Dong-Won Lee

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02081 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70

摘要： Provided is a spatial phase shifting interferometer using a multi wavelength. More particularly, provided is a spatial phase shifting interferometer using a multi wavelength capable of more rapidly measuring a precise shape of a measurement object by simultaneously oscillating laser having different wavelengths and passing oscillated laser through a beam splitter and a lens to analyze an interference fringe of the measurement object.

摘要翻译： 提供了使用多波长的空间相移干涉仪。 更具体地，提供了一种使用多波长的空间相移干涉仪，其能够通过同时振荡不同波长的激光并通过振镜激光通过分束器和透镜来更快速地测量测量对象的精确形状，以分析干涉条纹 测量对象。

公开(公告)号：US07268886B2

公开(公告)日：2007-09-11

申请号：US10874352

申请日：2004-06-24

申请人： Jae Wan Kim ,  Tae Bong Eom

发明人： Jae Wan Kim ,  Tae Bong Eom

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02019 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70

摘要： Disclosed herein is a method and apparatus for simultaneously measuring a displacement and angular variations. The method and apparatus of the present invention allows light radiated from a single light source to be placed along a light axis so as to simultaneously measure a distance (displacement) and angular variations that are different physical quantities, so that the displacement and angular variations of the measuring device of a precision measuring apparatus or machining device of a machine tool moved by a stage can be simultaneously measured without an Abbe error.

摘要翻译： 这里公开了用于同时测量位移和角度变化的方法和装置。 本发明的方法和装置允许从单个光源辐射的光沿着光轴放置，以便同时测量不同物理量的距离（位移）和角度变化，使得位移和角度变化 可以在没有阿贝误差的情况下同时测量由载物台移动的机床的精密测量装置或加工装置的测量装置。