公开(公告)号：US4748315A

公开(公告)日：1988-05-31

申请号：US5846

申请日：1987-01-21

申请人： Kunihiro Takahashi ,  Kazumasa Fujioka ,  Naoyuki Tamura

发明人： Kunihiro Takahashi ,  Kazumasa Fujioka ,  Naoyuki Tamura

IPC分类号： H01L21/203 ,  C23C14/24 ,  C23C14/26 ,  C30B23/00 ,  F27D99/00 ,  H05B3/64

CPC分类号： F27D99/0006 ,  C23C14/243 ,  C23C14/26 ,  H05B3/64 ,  F27D2099/0008

摘要： A molecular beam source suppresses a temperature fall at the opening of a crucible, to make a temperature distribution within the crucible uniform and to prevent the phenomenon of bumping of a source substance, whereby the quality of an evaporated film can be enhanced. The source includes a heater disposed around the crucible which is formed of straight parts and U-shaped end parts continuously repeated at equal intervals. The straight parts are arranged so as to extend in a vertical direction of the crucible and the U-shaped end parts are bent outwards at outer-peripheral positions of the opening of the crucible.

摘要翻译： 分子束源抑制坩埚开口处的温度下降，使得坩埚内的温度分布均匀，并且防止源物质的碰撞现象，从而可以提高蒸发膜的质量。 源包括设置在坩埚周围的加热器，该加热器由直的部分和以相等的间隔连续重复的U形端部部分形成。 直线部分布置成在坩埚的垂直方向上延伸，并且U形端部在坩埚的开口的外周位置向外弯曲。

公开(公告)号：US4664829A

公开(公告)日：1987-05-12

申请号：US720242

申请日：1985-04-05

申请人： Kazuo Arakawa ,  Naohiro Hayakawa ,  Kenzo Yoshida ,  Naoyuki Tamura ,  Hiroshi Nakanishi ,  Tetsuya Yagi ,  Shintaro Kuroiwa

发明人： Kazuo Arakawa ,  Naohiro Hayakawa ,  Kenzo Yoshida ,  Naoyuki Tamura ,  Hiroshi Nakanishi ,  Tetsuya Yagi ,  Shintaro Kuroiwa

IPC分类号： C10M105/18 ,  C10N30/00 ,  C10N40/00 ,  C10M105/08

CPC分类号： C10M105/18 ,  C10M2207/04 ,  C10M2207/0406 ,  C10N2230/32

摘要： An oil blend having resistance to ionizing radiation comprising the following components is herein disclosed:A. 25 to 75 wt % of 0-70 wt % of o-(m-phenoxyphenoxy)diphenyl and 100-30 wt % of m-(m-phenoxyphenoxy)diphenyl; andB. 75 to 25 wt % of a monoalkyldiphenyl ether or dialkyldiphenyl ether.This oil blend has a pour point of 0.degree. C. or below and has a G-value of 0.1 or lower for the evolution of decomposition gases under irradiation with ionizing radiation. Said ethers have 10 to 20 carbon atoms in the alkyl moiety.

摘要翻译： 本文公开了具有耐电离辐射的油混合物，其包含以下组分：A. 25-75重量％的0-70重量％的邻 - （间苯氧基苯氧基）二苯基和100-30重量％的间 - （间 - 苯氧基苯氧基）二苯基; 和75〜25重量％的单烷基二苯基醚或二烷基二苯基醚。 该油混合物的倾点为0℃或更低，并且在电离辐射照射下分解气体的逸出具有0.1或更低的G值。 所述醚在烷基部分具有10至20个碳原子。