公开(公告)号：US5888633A

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：US820359

申请日：1997-03-12

申请人： Motoo Nakano ,  Hiroshi Nomura ,  Masaya Katayama ,  Toshimi Ikeda ,  Fumihiko Inoue ,  Junichi Ishikawa ,  Masahiro Kuwamura

发明人： Motoo Nakano ,  Hiroshi Nomura ,  Masaya Katayama ,  Toshimi Ikeda ,  Fumihiko Inoue ,  Junichi Ishikawa ,  Masahiro Kuwamura

IPC分类号： B81B3/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/306 ,  B32B7/02

CPC分类号： B81B3/0005 ,  B81C1/0092 ,  H01L21/02063 ,  H01L28/87 ,  Y10T428/24744 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/8305

摘要： A micro-structure including at least a first bendable member having first and second ends and being supported at the first end only, and either being spaced from a rigid component, or being spaced from a second bendable member also supported only at a first end thereof. The first member has a length L from the first end to the second end specified by one of the following equations: (a) for the first member adjacent to the rigid component: L

摘要翻译： 一种微结构，包括至少第一可弯曲构件，其具有第一端和第二端，仅在第一端处被支撑，并且与刚性构件间隔开，或者与第二可弯曲构件间隔开，第二可弯曲构件也仅在其第一端处支撑 。 第一构件具有从以下等式之一指定的第一端至第二端的长度L：（a）对于与刚性构件相邻的第一构件：L <（2Edt3 / 3P）+ E，fra 1/4 + EE，其中E是第一构件的材料的杨氏模量; d是第一构件和刚性构件之间的空间的距离; t是第一构件的厚度; 并且P是施加到所述第一构件的外部压力; 或b）对于与第二构件相邻的第一构件：L <（2Ed't3 / 3P）+ E，fra 1/4 + EE，其中E，t和P如上所定义; 并且d'是第一和第二构件之间的空间的距离。