公开(公告)号：US20100218787A1

公开(公告)日：2010-09-02

申请号：US12681665

申请日：2007-10-10

申请人： Francis-Jurjen Ladru ,  Alexander Nordalm ,  Michael Ott

发明人： Francis-Jurjen Ladru ,  Alexander Nordalm ,  Michael Ott

IPC分类号： C23G1/00

CPC分类号： C23G5/00 ,  B08B7/0035 ,  F01D25/002 ,  Y02T50/67

摘要： A method of Fluoride Ion Cleaning (FIC) of a component is provided. A FIC installation includes a reaction chamber and a reactive gas or a reactive gas mixture. A pressure of the reactive gas or the reactive gas mixture in the reaction chamber is set at least occasionally above atmospheric pressure, wherein the pressure in the reaction chamber is periodically lowered and raised.

摘要翻译： 提供了一种组分的氟离子清洗（FIC）方法。 FIC装置包括反应室和反应气体或反应气体混合物。 反应气体或反应气体混合物在反应室中的压力至少偶尔地设定在大气压之上，其中反应室中的压力周期性地降低和升高。