公开(公告)号：US06459524B1

公开(公告)日：2002-10-01

申请号：US09815170

申请日：2001-03-22

申请人： Nan Zhang ,  Hong Zhang ,  Arden L. Olson

发明人： Nan Zhang ,  Hong Zhang ,  Arden L. Olson

IPC分类号： G02B2600

CPC分类号： G02B6/359 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B26/0841

摘要： A position sensing apparatus, for sensing switching positions in a MEMS device that includes a suspension structure, an actuator, and a support structure, is provided. The apparatus includes a first contact disposed on the suspension structure, a second contact coupled to the support structure, and an indicator coupled to one of the first and second contacts. When the first and second contacts are in contact, the indicator provides a first signal, and when the first and second contacts are not in contact, the indicator provides a second signal.

摘要翻译： 提供了一种位置检测装置，用于感测包括悬架结构的MEMS装置中的开关位置，致动器和支撑结构。 该装置包括设置在悬挂结构上的第一触点，耦合到支撑结构的第二触点和耦合到第一和第二触点之一的指示器。 当第一和第二触点接触时，指示器提供第一信号，并且当第一和第二触点不接触时，指示器提供第二信号。