公开(公告)号：US20120161333A1

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：US13311146

申请日：2011-12-05

申请人： Aurelie THUAIRE ,  Xavier Baillin ,  Nicolas Sillon

发明人： Aurelie THUAIRE ,  Xavier Baillin ,  Nicolas Sillon

IPC分类号： H01L23/522 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L21/76898

摘要： Device for connecting nano-objects to external electrical systems, and method for producing the device.According to the invention, which applies in particular to molecular characterization, a device including the following is produced: an upper layer (16) equipped with upper contact pads (8) to be connected to a nano-object (2); a lower layer (18), equipped with lower contact pads (12) to be connected to an external electrical system (4); above the lower layer, a bonding layer (20) including electrical through-vias (22) in contact with the lower pads; and, between the bonding layer and the upper layer, at least two layers (22, 24) equipped with conductive lines (25) and electrical vias (26), for connecting the upper pads to the lower pads.

摘要翻译： 用于将纳米物体连接到外部电气系统的装置以及用于制造该装置的方法。 根据本发明，其特别适用于分子表征，产生了包括以下的器件：上层（16），其配备有要连接到纳米物体（2）的上接触焊盘（8）; 下层（18），其配备有连接到外部电气系统（4）的下接触焊盘（12）; 在下层上方，包括与下垫接触的电通孔（22）的接合层（20） 并且在所述接合层和所述上层之间具有至少两个配备有导线（25）和电气通孔（26）的层（22,24），用于将所述上焊盘连接到所述下焊盘。