公开(公告)号：US20060215140A1

公开(公告)日：2006-09-28

申请号：US10540067

申请日：2003-12-18

申请人： Peter Dirksen ,  Casparus Antonius Juffermans

发明人： Peter Dirksen ,  Casparus Antonius Juffermans

IPC分类号： G03B27/72

CPC分类号： G03F7/706 ,  G03F7/7025 ,  G03F7/7085

摘要： The performance of an illumination system in, for example, a lithographic projection apparatus can be measured accurately and reliably by means of a test object (55) comprising at least one Fresnel zone lens (30) and an associated reference mark, preferably a ring (40). By superposed imaging of these and detecting and evaluating the composed image (56), telecentricity errors and aberrations of the illumination can be measured.

摘要翻译： 可以通过包括至少一个菲涅耳区透镜（30）和相关联的参考标记的测试对象（55）来精确和可靠地测量例如光刻投影设备中的照明系统的性能，优选为环（ 40）。 通过这些的叠加成像和检测和评估合成图像（56），可以测量照明的远心误差和像差。