公开(公告)号：US06824617B2

公开(公告)日：2004-11-30

申请号：US10131239

申请日：2002-04-25

申请人： Yun-Sik Yang ,  Jin-Man Kim ,  Young-Min Min ,  Chang-Hyun Jo

发明人： Yun-Sik Yang ,  Jin-Man Kim ,  Young-Min Min ,  Chang-Hyun Jo

IPC分类号： C23C1600

CPC分类号： H01L21/67253 ,  C23C14/566 ,  F15B11/042 ,  F15B11/044 ,  F15B2211/30525 ,  F15B2211/3138 ,  F15B2211/327 ,  F15B2211/40515 ,  F15B2211/41527 ,  F15B2211/455 ,  F15B2211/46 ,  F15B2211/7053 ,  F15B2211/75 ,  H01L21/67017 ,  Y10S414/139

摘要： An input/output valve switching apparatus of a semiconductor manufacturing system minimizes a vibration set up while operating an input/output valve for opening and closing a wafer-transfer passage that connects chambers of the system. The switching apparatus includes a valve actuator having a close port and an open port, a first fluid line connected to the close port, a second fluid line connected to the open port, first flow regulators installed in the first and second fluid lines, respectively, to regulate the flow rate of fluid, and second fluid flow regulators installed in the first and second fluid lines to regulate the flow rate of the fluid that has passed. The second fluid flow regulators can prevent a rapid introduction of the fluid into the actuator.

摘要翻译： 半导体制造系统的输入/输出阀开关装置在操作用于打开和关闭连接系统的腔室的晶片传送通道的输入/输出阀时最小化振动。 开关装置包括具有关闭端口和开放端口的阀致动器，连接到关闭端口的第一流体管线，连接到开放端口的第二流体管线，分别安装在第一和第二流体管线中的第一流量调节器， 以调节流体的流量，以及第二流体流量调节器，其安装在第一和第二流体管线中，以调节流过的流体的流量。 第二流体流量调节器可以防止流体快速引入致动器。