公开(公告)号：US20050286110A1

公开(公告)日：2005-12-29

申请号：US10929074

申请日：2004-08-27

申请人： Shih-Yi Wen ,  Hsiao-Wen Lee ,  Jui-Ping Weng ,  Wu-Cheng Kuo ,  Chen-Yu Weng ,  Yu-Han Chieh

发明人： Shih-Yi Wen ,  Hsiao-Wen Lee ,  Jui-Ping Weng ,  Wu-Cheng Kuo ,  Chen-Yu Weng ,  Yu-Han Chieh

IPC分类号： G02B6/26 ,  G02B6/35 ,  G02B26/00 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B6/3572 ,  G02B6/3516 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/085

摘要： A self-assembly structure of micro electromechanical optical switch utilizes residual stresses of three curved beams. The first curved beam pushes the base plate away from the substrate. The second curved beam lifts up the mirror slightly. Then, the third curved beam rotates the mirror vertical to the base plate and achieves self-assembly. In another embodiment, magnetic force and magnetic-activated elements are used.

摘要翻译： 微机电光开关的自组装结构利用三个弯曲梁的残余应力。 第一弯曲梁将基板推离基板。 第二弯曲梁稍微升起镜子。 然后，第三弯曲梁将镜子垂直于基板旋转并实现自组装。 在另一个实施例中，使用磁力和磁激元件。

公开(公告)号：US07133185B2

公开(公告)日：2006-11-07

申请号：US10929074

申请日：2004-08-27

申请人： Shih-Yi Wen ,  Hsiao-Wen Lee ,  Jui-Ping Weng ,  Wu-Cheng Kuo ,  Chen-Yu Weng ,  Yu-Han Chien

发明人： Shih-Yi Wen ,  Hsiao-Wen Lee ,  Jui-Ping Weng ,  Wu-Cheng Kuo ,  Chen-Yu Weng ,  Yu-Han Chien

IPC分类号： G02F1/29 ,  G02B6/35 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B6/3572 ,  G02B6/3516 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/085

摘要： A self-assembly structure of micro electromechanical optical switch utilizes residual stresses of three curved beams. The first curved beam pushes the base plate away from the substrate. The second curved beam lifts up the mirror slightly. Then, the third curved beam rotates the mirror vertical to the base plate and achieves self-assembly. In another embodiment, magnetic force and magnetic-activated elements are used.

摘要翻译： 微机电光开关的自组装结构利用三个弯曲梁的残余应力。 第一弯曲梁将基板推离基板。 第二弯曲梁稍微升起镜子。 然后，第三弯曲梁将镜子垂直于基板旋转并实现自组装。 在另一个实施例中，使用磁力和磁激元件。