公开(公告)号：US07148624B2

公开(公告)日：2006-12-12

申请号：US10249533

申请日：2003-04-17

申请人： Ewald Guenther ,  Hooi Bin Lim ,  Cheng Kooi Tan ,  Shi Chai Chong ,  Hagen Klausmann

发明人： Ewald Guenther ,  Hooi Bin Lim ,  Cheng Kooi Tan ,  Shi Chai Chong ,  Hagen Klausmann

IPC分类号： H05B33/06 ,  H05B33/04 ,  H01L51/50

CPC分类号： H01L51/5206 ,  H01L27/3283 ,  H01L27/3288 ,  H01L51/524 ,  H01L51/5246

摘要： A method to ensure uniform deposition of organic layer is disclosed. Since the organic layer is very thin, any deviation from the target thickness will result in visible optical defects. A homogenous layer which exhibits good coating behaviour with organic materials is provided beneath the organic layer. By covering the metal interconnects, the adverse effect on the uniformity of the polymer layer is reduced or prevented.

摘要翻译： 公开了确保有机层均匀沉积的方法。 由于有机层非常薄，与目标厚度的任何偏差将导致可见的光学缺陷。 在有机层的下方设置与有机材料显示良好涂层性能的均质层。 通过覆盖金属互连，降低或防止了对聚合物层的均匀性的不利影响。