公开(公告)号：US07674338B2

公开(公告)日：2010-03-09

申请号：US11115575

申请日：2005-04-26

申请人： Rolf A. Guenther ,  Curtis B. Hammill

发明人： Rolf A. Guenther ,  Curtis B. Hammill

IPC分类号： C23F1/00

CPC分类号： C23C16/4586 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49162 ,  Y10T29/49194 ,  Y10T29/49915 ,  Y10T29/49925

摘要： A method and apparatus for forming a substrate support is provided herein. In one embodiment, the substrate support includes a body having a support surface and at least one groove. A heater element surrounded with a malleable heat sink is disposed in the groove. The heat sink may be comprised of one or more parts. A cap is disposed in the groove above the heat sink and has an upper surface disposed substantially flush with the support surface.

摘要翻译： 本文提供了一种用于形成衬底支撑件的方法和装置。 在一个实施例中，衬底支撑件包括具有支撑表面的主体和至少一个凹槽。 用可延展的散热器包围的加热器元件设置在凹槽中。 散热器可以由一个或多个部件组成。 盖子设置在散热器上方的凹槽中，并且具有与支撑表面基本齐平的上表面。

公开(公告)号：US08065789B2

公开(公告)日：2011-11-29

申请号：US12178228

申请日：2008-07-23

申请人： Rolf A. Guenther ,  Curtis B. Hammill

发明人： Rolf A. Guenther ,  Curtis B. Hammill

IPC分类号： H05B3/00

CPC分类号： C23C16/4586 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49162 ,  Y10T29/49194 ,  Y10T29/49915 ,  Y10T29/49925

摘要： A method of forming a substrate support comprises providing a body having a groove, inserting a heater element into the groove, disposing an insert into the groove, and inserting a cap into the groove. The heater element comprises a resistive element inside a sheath encased in a malleable cladding. The insert is disposed over the cladding, and the cap is substantially flush with an outer surface of the body.

摘要翻译： 一种形成衬底支撑件的方法包括提供具有凹槽的本体，将加热器元件插入凹槽中，将插入件设置在凹槽中，以及将盖插入凹槽中。 加热器元件包括位于可延展包层中的鞘内的电阻元件。 插入件设置在包层上方，并且帽与主体的外表面基本齐平。

公开(公告)号：US20080271309A1

公开(公告)日：2008-11-06

申请号：US12178228

申请日：2008-07-23

申请人： Rolf A. Guenther ,  Curtis B. Hammill

发明人： Rolf A. Guenther ,  Curtis B. Hammill

IPC分类号： H01R43/00 ,  H05B3/00

CPC分类号： C23C16/4586 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49162 ,  Y10T29/49194 ,  Y10T29/49915 ,  Y10T29/49925

摘要： A method and apparatus for forming a substrate support is provided herein. In one embodiment, the substrate support includes a body having a support surface and at least one groove. A heater element clad with a malleable heat sink is disposed in the groove. Substantially no air is trapped between the clad heater element and the groove. An insert is disposed in the groove above the heater. The insert substantially completely covers and contacts the clad heater element and the sides of the groove. A cap is disposed in the groove above the insert. The cap covers and contacts the insert and has an upper surface disposed substantially flush with the support surface.

摘要翻译： 本文提供了一种用于形成衬底支撑件的方法和装置。 在一个实施例中，衬底支撑件包括具有支撑表面的主体和至少一个凹槽。 包含有韧性的散热器的加热元件设置在凹槽中。 在包层加热器元件和槽之间基本上没有空气被捕获。 插入件设置在加热器上方的凹槽中。 插入件基本上完全覆盖并接触包层加热器元件和槽的侧面。 盖子设置在插入件上方的凹槽中。 帽覆盖并接触插入件，并且具有与支撑表面基本齐平设置的上表面。