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1.发明授权Method and system for semiconductor process control and monitoring by using a data quality metric 有权通过使用数据质量度量进行半导体过程控制和监测的方法和系统公开(公告)号：US08849615B2
公开(公告)日：2014-09-30
申请号：US12685022
申请日：2010-01-11
申请人： Daniel Kost
发明人： Daniel Kost
CPC分类号： G05B23/0221 , G05B23/024
摘要： During fault detection of a production process, the influence of the data communication process for communicating measurement readings to the fault detection system may be taken into consideration. In one illustrative embodiment, a data rate related parameter may be used as an input variable for a data reduction procedure, thereby enabling an efficient assessment of the quality of the remaining “real” process and tool parameters.
摘要翻译： 在生产过程的故障检测期间，可以考虑用于将测量读数传送到故障检测系统的数据通信过程的影响。 在一个说明性实施例中，可以将数据速率相关参数用作数据简化过程的输入变量，从而能够有效地评估剩余的“实际”过程和工具参数的质量。
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2.发明申请METHOD AND SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR PROCESS CONTROL AND MONITORING BY USING A DATA QUALITY METRIC 有权使用数据质量度量的半导体过程控制和监测的方法和系统公开(公告)号：US20100198556A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：US12685022
申请日：2010-01-11
申请人： Daniel Kost
发明人： Daniel Kost
IPC分类号： G06F15/00
CPC分类号： G05B23/0221 , G05B23/024
摘要： During fault detection of a production process, the influence of the data communication process for communicating measurement readings to the fault detection system may be taken into consideration. In one illustrative embodiment, a data rate related parameter may be used as an input variable for a data reduction procedure, thereby enabling an efficient assessment of the quality of the remaining “real” process and tool parameters.
摘要翻译： 在生产过程的故障检测期间，可以考虑用于将测量读数传送到故障检测系统的数据通信过程的影响。 在一个说明性实施例中，可以将数据速率相关参数用作数据简化过程的输入变量，从而能够有效地评估剩余的“实际”过程和工具参数的质量。
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3.发明授权Method and system for semiconductor process control and monitoring by using PCA models of reduced size 有权通过使用减小尺寸的PCA模型进行半导体过程控制和监测的方法和系统公开(公告)号：US08103478B2
公开(公告)日：2012-01-24
申请号：US12388060
申请日：2009-02-18
申请人： Richard Good , Daniel Kost
发明人： Richard Good , Daniel Kost
CPC分类号： G06K9/6247 , H01L22/20
摘要： By dividing a complex set of parameters of a production process in forming semiconductor devices into individual blocks, respective PCA models may be established for each block and may thereafter be combined by operating on summary statistics of each model block in order to evaluate the complete initial parameter set. Thus, compared to conventional strategies, a significant reduction of the size of the combined PCA model compared to a single PCA model may be obtained, while also achieving an enhanced degree of flexibility in evaluating various subsets of parameters.
摘要翻译： 通过将形成半导体器件的生产过程的一组复杂参数划分为单独的块，可以为每个块建立各个PCA模型，然后可以通过对每个模型块的简要统计进行操作来组合，以评估完整的初始参数 组。 因此，与常规策略相比，可以获得与单个PCA模型相比的组合PCA模型的大小的显着减小，同时在评估各种参数子集中也获得了更高的灵活性。
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4.发明申请METHOD AND SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR PROCESS CONTROL AND MONITORING BY USING PCA MODELS OF REDUCED SIZE 有权半导体工艺控制与监测方法与系统利用减少尺寸的PCA模型公开(公告)号：US20090276077A1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：US12388060
申请日：2009-02-18
申请人： Richard Good , Daniel KOST
发明人： Richard Good , Daniel KOST
CPC分类号： G06K9/6247 , H01L22/20
摘要： By dividing a complex set of parameters of a production process in forming semiconductor devices into individual blocks, respective PCA models may be established for each block and may thereafter be combined by operating on summary statistics of each model block in order to evaluate the complete initial parameter set. Thus, compared to conventional strategies, a significant reduction of the size of the combined PCA model compared to a single PCA model may be obtained, while also achieving an enhanced degree of flexibility in evaluating various subsets of parameters.
摘要翻译： 通过将形成半导体器件的生产过程的一组复杂参数划分为单独的块，可以为每个块建立各个PCA模型，然后可以通过对每个模型块的简要统计进行操作来组合，以评估完整的初始参数 组。 因此，与常规策略相比，可以获得与单个PCA模型相比的组合PCA模型的大小的显着减小，同时在评估各种参数子集中也获得了更高的灵活性。
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