公开(公告)号：US06203617B1

公开(公告)日：2001-03-20

申请号：US09272315

申请日：1999-03-19

申请人： Shinya Tanoue ,  Shinichiro Araki ,  Tatsuya Iwasaki ,  Eiichiro Kamada

发明人： Shinya Tanoue ,  Shinichiro Araki ,  Tatsuya Iwasaki ,  Eiichiro Kamada

IPC分类号： B05C1100

CPC分类号： H01L21/67276 ,  H01L21/67271 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/137

摘要： The present invention is a conveying unit having a controller for detecting information corresponding to the thickness of each of a plurality of raw substrates, assigning desired identifiers to the raw substrates, storing the identifiers, and causing a conveyor to convey each of the raw substrates or controlling processing conditions for a plurality of processing chambers with the identifiers corresponding to the thickness of each of the raw substrates. Thus, even if one cassette accommodates a plurality of raw substrates, the conveyor can smoothly load the same type of raw substrates to the accommodating cassette and unload them therefrom in a simple structure. The controller sets desired processing conditions for each of the processing portions corresponding to the identifiers.

摘要翻译： 本发明是一种输送单元，其具有用于检测与多个原始基板中的每一个的厚度对应的信息的控制器，将原始基板分配所需的标识符，存储标识符，并使输送机输送每个原始基板或 控制具有对应于每个原始基板的厚度的标识符的多个处理室的处理条件。 因此，即使一个盒子容纳多个原始基板，输送机也可以将相同类型的原始基板平滑地装载到收纳盒中，并以简单的结构将其卸载。 控制器为与标识符对应的每个处理部分设置所需的处理条件。