公开(公告)号：US5032435A

公开(公告)日：1991-07-16

申请号：US328918

申请日：1989-03-27

申请人： Robert M. Biefeld ,  Gregory A. Hebner ,  Kevin P. Killeen ,  Steven P. Zuhoski

发明人： Robert M. Biefeld ,  Gregory A. Hebner ,  Kevin P. Killeen ,  Steven P. Zuhoski

IPC分类号： C23C16/52

CPC分类号： C23C16/52

摘要： A system for monitoring and controlling the rate of growth of thin films in an atmosphere of reactant gases measures the UV absorbance of the atmosphere and calculates the partial pressure of the gases. The flow of reactant gases is controlled in response to the partial pressure.

摘要翻译： 用于监测和控制反应气体气氛中薄膜生长速率的系统测量大气的紫外吸收并计算气体的分压。 响应于分压来控制反应气体的流动。