公开(公告)号：US07912572B2

公开(公告)日：2011-03-22

申请号：US11858483

申请日：2007-09-20

申请人： Xiaoming Du ,  Kevin George Harding ,  Steven Robert Hayashi ,  Jianming Zheng ,  Tian Chen ,  Howard Paul Weaver ,  Yong Yang ,  Guofei Hu ,  James Allen Baird, Jr.

发明人： Xiaoming Du ,  Kevin George Harding ,  Steven Robert Hayashi ,  Jianming Zheng ,  Tian Chen ,  Howard Paul Weaver ,  Yong Yang ,  Guofei Hu ,  James Allen Baird, Jr.

IPC分类号： G01D18/00 ,  G01N3/62 ,  G05B19/18 ,  G05B15/00 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B19/4015 ,  B23Q17/22 ,  G05B2219/37069 ,  G05B2219/49177

摘要： A method of calibrating an inspection system is provided. The method includes contacting a test part with a run-out measurement device and rotating the test part and measuring a first run-out using the run-out measurement device. The method also includes moving the run-out measurement device to a new position and repeating the steps of contacting and rotating the test part to measure a second run-out at the new position. The method further includes using the first and second run-outs to adjust measurements of the inspection system.

摘要翻译： 提供校准检查系统的方法。 该方法包括使测试部件与跑出测量装置接触并旋转测试部件，并使用跑出测量装置测量第一次跑出。 该方法还包括将跑出测量装置移动到新位置，并重复接触和旋转测试部件以测量新位置处的第二跳动的步骤。 该方法进一步包括使用第一和第二跳动来调整检查系统的测量。

公开(公告)号：US20090082899A1

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：US11858483

申请日：2007-09-20

申请人： Xiaoming Du ,  Kevin George Harding ,  Steven Robert Hayashi ,  Jianming Zheng ,  Tian Chen ,  Howard Paul Weaver ,  Yong Yang ,  Guofei Hu ,  James Allen Baird, JR.

发明人： Xiaoming Du ,  Kevin George Harding ,  Steven Robert Hayashi ,  Jianming Zheng ,  Tian Chen ,  Howard Paul Weaver ,  Yong Yang ,  Guofei Hu ,  James Allen Baird, JR.

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/4015 ,  B23Q17/22 ,  G05B2219/37069 ,  G05B2219/49177

摘要： A method of calibrating an inspection system is provided. The method includes contacting a test part with a run-out measurement device and rotating the test part and measuring a first run-out using the run-out measurement device. The method also includes moving the run-out measurement device to a new position and repeating the steps of contacting and rotating the test part to measure a second run-out at the new position. The method further includes using the first and second run-outs to adjust measurements of the inspection system.

摘要翻译： 提供校准检查系统的方法。 该方法包括使测试部件与跑出测量装置接触并旋转测试部件，并使用跑出测量装置测量第一次跑出。 该方法还包括将跑出测量装置移动到新位置，并重复接触和旋转测试部件以测量新位置处的第二跳动的步骤。 该方法进一步包括使用第一和第二跳动来调整检查系统的测量。