公开(公告)号：US4907287A

公开(公告)日：1990-03-06

申请号：US332376

申请日：1989-03-31

申请人： Koichi Homma ,  Fuminobu Komura ,  Tetsuo Yokoyama ,  Koichi Haruna ,  Toshihiro Furuya ,  Hiromi Kashiwabara ,  Akira Maeda ,  Yutaka Takuma ,  Takashi Iizumi

发明人： Koichi Homma ,  Fuminobu Komura ,  Tetsuo Yokoyama ,  Koichi Haruna ,  Toshihiro Furuya ,  Hiromi Kashiwabara ,  Akira Maeda ,  Yutaka Takuma ,  Takashi Iizumi

IPC分类号： G01Q30/06 ,  G06T5/00 ,  H01J37/22

CPC分类号： H01J37/28 ,  G06T5/006 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/0216

摘要： An image correcting apparatus for correcting distortion appearing in an image produced by electron beam scanning in a SEM under the influence of electric, magnetic and mechanical vibrations through arithmetic operations for eliminating the distortion. Installation of electric shield, magnetic shield and vibration-damping structure is thus rendered unnecessary.

摘要翻译： 一种图像校正装置，用于通过用于消除失真的算术运算，在电磁场和机械振动的影响下，用SEM校正由电子束扫描产生的图像中出现的畸变。 因此，不需要安装电气屏蔽，磁屏蔽和减振结构。