公开(公告)号：US20130160703A1

公开(公告)日：2013-06-27

申请号：US13820796

申请日：2011-08-26

申请人： Osamu Okada ,  Yoshiaki Hirose ,  Tetsuya Yuki ,  Hiromitsu Sugawa

发明人： Osamu Okada ,  Yoshiaki Hirose ,  Tetsuya Yuki ,  Hiromitsu Sugawa

IPC分类号： C30B15/10

CPC分类号： C04B35/83 ,  C04B35/536 ,  C04B2235/77 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  Y10T117/1032

摘要： A carbon crucible prevents leakage of SiO gas from a boundary portion between a straight trunk portion and a tray portion and prevents SiC formation from quickly developing. A carbon crucible (5) for retaining a quartz crucible (4) used in a metal single crystal pulling apparatus for silicon or the like has a straight trunk portion (9) and a tray portion (10) that are divided from each other. A graphite sheet (11) is disposed between the quartz crucible (4) and the carbon crucible (5) so as to cover at least a boundary portion (A) of an inner surface of the carbon crucible (5) between the straight trunk portion (9) and the tray portion (10). The graphite sheet (11) is an expanded graphite sheet.

摘要翻译： 碳坩埚防止了从直线主体部分和托盘部分之间的边界部分漏出的一氧化硅气体，并且防止了SiC形成的快速发展。 用于保持用于硅等的金属单晶拉制装置中的石英坩埚（4）的碳坩埚（5）具有彼此分开的直的主干部（9）和托盘部（10）。 石英片（11）设置在石英坩埚（4）和碳坩埚（5）之间，以至少覆盖碳坩埚（5）的内表面的至少一边界部分（A） （9）和托盘部分（10）。 石墨片（11）是膨胀石墨片。