公开(公告)号：US06671423B1

公开(公告)日：2003-12-30

申请号：US09695850

申请日：2000-10-26

申请人： Ikumatsu Fujimoto ,  Kiyokazu Okamoto

发明人： Ikumatsu Fujimoto ,  Kiyokazu Okamoto

IPC分类号： G06K932

CPC分类号： H04N1/387 ,  G06T3/0006 ,  G06T5/006

摘要： A reference space includes a plurality of reference graphics. An image space is obtained by imaging the reference space. Affine transformation series are determined from the reference and image spaces for transcribing graphic cores of imaged graphics on graphic cores of reference graphics. If an affine-transformed positional error falls outside a tolerance, the reference space is divided into sub-spaces. Affine transformations and space divisions are repeated for out-of-tolerance sub-spaces until their estimations of distortion finally fall inside the tolerance.

摘要翻译： 参考空间包括多个参考图形。 通过对参考空间进行成像获得图像空间。 仿射变换系列由参考和图像空间确定，用于在参考图形的图形核心上转录成像图形的图形核心。 如果仿射变换位置误差超出公差，则将参考空间划分为子空间。 对于超公差子空间重复仿射变换和空间分割，直到其失真估计最终落入容差内。

公开(公告)号：US06633387B1

公开(公告)日：2003-10-14

申请号：US09679064

申请日：2000-10-05

申请人： Kiyokazu Okamoto ,  Ikumatsu Fujimoto ,  Hirohisa Handa ,  Naoki Mitsutani

发明人： Kiyokazu Okamoto ,  Ikumatsu Fujimoto ,  Hirohisa Handa ,  Naoki Mitsutani

IPC分类号： G01B902

CPC分类号： G01B11/27 ,  G01B9/10

摘要： An interference optical system (18) leads parallel beam to a pair of opposed test surface (M1, M2). It then leads, from the test surfaces via different optical paths (C1, C2), interference fringe images formed by radiation of the parallel beam to the test surfaces (M1, M2), respectively. The interference optical system (18) has a pair of opposite reference surfaces (S1, S2) formed thereon and defined with a highly accuracy parallelism and distance. A measurement head (27) is provided with these reference surfaces (S1, S2), which are interposed between and oppose to the test surfaces (M1, M2), respectively. Imaging devices (19a, 20a) take interference fringe images that are created through interference between a light reflected at each of the test surfaces (M1, M2) and a light reflected at the corresponding reference surface (S1, S2) opposing thereto.

摘要翻译： 干涉光学系统（ 18 ）将平行光束引导到一对相对的测试表面（M 1 ，M 2 ）。 然后，通过不同的光路（C 1 ，C 2 ）从测试表面引出，形成干涉条纹图像 通过将平行光束分别照射到测试表面（M 1 ，M 2 ）。 干涉光学系统（ 18 ）具有一对相反的参考表面（S 1 ，S 2 ），并以高度精确的平行度和距离定义。 这些参考表面（S 1 ，S 2的测量头（ 27 ） ），它们介于测试表面之间并与其相对（M 1 ，M 2 ）。 成像设备（ 19 a ，20 a >）采取通过每个测试表面（M 1 ，M 2 之间的反射光的干涉产生的干涉条纹图像 ）和与其相对的相应参考表面（S 1 ，S 2 ）反射的光。 / PTEXT>