公开(公告)号：US08296860B2

公开(公告)日：2012-10-23

申请号：US12404849

申请日：2009-03-16

申请人： Huiwen Liu ,  Lin Zhou ,  Dale Egbert ,  Jonathan Arland Nelson ,  Peter Gunderson

发明人： Huiwen Liu ,  Lin Zhou ,  Dale Egbert ,  Jonathan Arland Nelson ,  Peter Gunderson

IPC分类号： G01B5/28

CPC分类号： G01Q30/06

摘要： An atomic force microscopy (AFM) method includes a scanning probe that scans a surface of a structure to produce a first structure image. The structure is then rotated by 90° with respect to the scanning probe. The scanning probe scans the surface of the structure again to produce a second structure image. The first and second structure images are combined to produce best fit image of the surface area of the structure. The same method is used to produce the best fit image of a flat standard. The best fit image of the flat standard is subtracted from the best fit image of the structure to obtain a true topographical image in which Z direction run out error is substantially reduced or eliminated.

摘要翻译： 原子力显微镜（AFM）方法包括扫描结构的表面以产生第一结构图像的扫描探针。 然后将结构相对于扫描探针旋转90°。 扫描探针再次扫描结构的表面以产生第二结构图像。 第一和第二结构图像被组合以产生结构的表面积的最佳拟合图像。 使用相同的方法来产生平坦标准的最佳拟合图像。 从结构的最佳拟合图像中减去平面标准的最佳拟合图像，以获得其中Z方向耗尽误差大大降低或消除的真实地形图像。

公开(公告)号：US20100235956A1

公开(公告)日：2010-09-16

申请号：US12404849

申请日：2009-03-16

申请人： Huiwen Liu ,  Lin Zhou ,  Dale Egbert ,  Jonathan Arland Nelson ,  Peter Gunderson

发明人： Huiwen Liu ,  Lin Zhou ,  Dale Egbert ,  Jonathan Arland Nelson ,  Peter Gunderson

IPC分类号： G12B21/08

CPC分类号： G01Q30/06

摘要： An atomic force microscopy (AFM) method includes a scanning probe that scans a surface of a structure to produce a first structure image. The structure is then rotated by 90° with respect to the scanning probe. The scanning probe scans the surface of the structure again to produce a second structure image. The first and second structure images are combined to produce best fit image of the surface area of the structure. The same method is used to produce the best fit image of a flat standard. The best fit image of the flat standard is subtracted from the best fit image of the structure to obtain a true topographical image in which Z direction run out error is substantially reduced or eliminated.

摘要翻译： 原子力显微镜（AFM）方法包括扫描结构的表面以产生第一结构图像的扫描探针。 然后将结构相对于扫描探针旋转90°。 扫描探针再次扫描结构的表面以产生第二结构图像。 第一和第二结构图像被组合以产生结构的表面积的最佳拟合图像。 使用相同的方法来产生平坦标准的最佳拟合图像。 从结构的最佳拟合图像中减去平面标准的最佳拟合图像，以获得其中Z方向耗尽误差大大降低或消除的真实地形图像。