公开(公告)号：US20070296423A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：US11442070

申请日：2006-05-25

申请人： Michael Whitener ,  Allen Anderson ,  John Larson ,  Matt Condron ,  Stephen Gilbert ,  Jose Marroquin ,  Matthew Richter ,  Ron Strehlow ,  Hassan Tanbakuchi ,  David Taylor

发明人： Michael Whitener ,  Allen Anderson ,  John Larson ,  Matt Condron ,  Stephen Gilbert ,  Jose Marroquin ,  Matthew Richter ,  Ron Strehlow ,  Hassan Tanbakuchi ,  David Taylor

IPC分类号： G01R31/02

CPC分类号： G01R1/0491

摘要： A wafer support assembly has a first wafer support plate having a first grid pattern allowing first probe access through the first grid pattern to a first side of a wafer in the wafer support assembly and a second wafer support plate having a second grid pattern allowing second probe access through the second grid pattern to a second side of the wafer in the wafer support assembly.

摘要翻译： 晶片支撑组件具有第一晶片支撑板，其具有第一栅格图案，其允许第一探针通过第一栅格图案访问晶片支撑组件中的晶片的第一侧;以及第二晶片支撑板，其具有允许第二探针 通过第二格栅图形访问晶片支撑组件中的晶片的第二侧。