公开(公告)号：US20060169910A1

公开(公告)日：2006-08-03

申请号：US10539179

申请日：2003-12-12

申请人： Jugen Frosien ,  Pavel Adamec

发明人： Jugen Frosien ,  Pavel Adamec

IPC分类号： H01J1/50

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/145 ,  H01J37/3177

摘要： The invention provides an optical system for a charged particle multi-beam system. The optical system comprises an electrostatic lens component and a magnetic lens component. The components are used to focus a plurality of charged particle beams in a separate opening for each of at least a plurality a charged particle beams traveling through the optical system.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于带电粒子多光束系统的光学系统。 光学系统包括静电透镜部件和磁性透镜部件。 这些部件用于将多个带电粒子束聚焦在分开的开口中，用于至少多个穿过光学系统的带电粒子束中的每一个。