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1.发明授权Method for determining correction values for the measured values of positions of structures on a substrate 有权用于确定衬底上的结构的位置的测量值的校正值的方法公开(公告)号：US07584072B2
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：US12147703
申请日：2008-06-27
申请人： Wolfgang Fricke , Linda Gundal
发明人： Wolfgang Fricke , Linda Gundal
IPC分类号： G01P11/00
CPC分类号： G01B21/045
摘要： A method for allocating correction values of the degree of bending of a substrate (2) relative to a coordinate system (40) of a coordinate measuring machine (1) is disclosed. The positions of the at least two reference marks (32) on the substrate holder (27) are automatically determined relative to the coordinate system (40) of the coordinate measuring machine (1) for each substrate (2) currently placed in the substrate holder (27) in the coordinate measuring machine (1).
摘要翻译： 公开了一种用于分配基板（2）相对于坐标测量机（1）的坐标系（40）的弯曲程度的校正值的方法。 基板保持器（27）上的至少两个参考标记（32）的位置相对于当前放置在基板保持器中的每个基板（2）的坐标测量机（1）的坐标系（40）自动确定 （27）在坐标测量机（1）中。
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2.发明申请公开(公告)号：US20090024351A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：US12147703
申请日：2008-06-27
申请人： Wolfgang Fricke , Linda Gundal
发明人： Wolfgang Fricke , Linda Gundal
IPC分类号： G01B11/03
CPC分类号： G01B21/045
摘要： A method for allocating correction values of the degree of bending of a substrate (2) relative to a coordinate system (40) of a coordinate measuring machine (1) is disclosed. The positions of the at least two reference marks (32) on the substrate holder (27) are automatically determined relative to the coordinate system (40) of the coordinate measuring machine (1) for each substrate (2) currently placed in the substrate holder (27) in the coordinate measuring machine (1).
摘要翻译： 公开了一种用于分配基板（2）相对于坐标测量机（1）的坐标系（40）的弯曲程度的校正值的方法。 基板保持器（27）上的至少两个参考标记（32）的位置相对于当前放置在基板保持器中的每个基板（2）的坐标测量机（1）的坐标系（40）自动确定 （27）在坐标测量机（1）中。
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