公开(公告)号：US07178393B2

公开(公告)日：2007-02-20

申请号：US10973349

申请日：2004-10-27

申请人： Keishi Kubo ,  Masateru Doi ,  Naofumi Hino ,  Hiroyuki Mochizuki ,  Syojiro Satake

发明人： Keishi Kubo ,  Masateru Doi ,  Naofumi Hino ,  Hiroyuki Mochizuki ,  Syojiro Satake

IPC分类号： G01L5/04

CPC分类号： G01B11/06

摘要： A measuring apparatus including a fixed stator, a rotor to rotate in the state of being disposed outside the center of rotation of the stator, a retaining mechanism for retaining a thin board on the rotor, and a measuring section to measure physical properties of the thin board. This construction makes it possible to avoid wind generated by rotation of the rotor in the vicinity of the thin board, and to suppress vibration of the thin board. Further, since a portion exposed to the thin board can be minimized, safe measurement can be implemented.

摘要翻译： 一种测量装置，包括固定定子，转子，其设置在定子的旋转中心外部的状态，用于将薄板保持在转子上的保持机构，以及用于测量薄片的物理性质的测量部 板。 这种结构使得可以避免在薄板附近转子产生的风，并且抑制薄板的振动。 此外，由于可以使暴露于薄板的部分最小化，因此可以实现安全的测量。

公开(公告)号：US20050223791A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US10973349

申请日：2004-10-27

申请人： Keishi Kubo ,  Masateru Doi ,  Naofumi Hino ,  Hiroyuki Mochizuki ,  Syojiro Satake

发明人： Keishi Kubo ,  Masateru Doi ,  Naofumi Hino ,  Hiroyuki Mochizuki ,  Syojiro Satake

IPC分类号： G01B11/06 ,  G01L5/04 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01B11/06

摘要： In the present invention, there are provided a fixed stator, a rotor to rotate in the state of being disposed outside the center of rotation of the stator, a retaining mechanism for retaining the thin board on the rotor, and a measuring section to measure physical properties of the thin board, which makes it possible to avoid wind generated by rotation of the rotor in the vicinity of the thin board, and to suppress vibration of the thin board. Further, since a portion exposed to the thin board can be minimized, safe measurement can be implemented.

摘要翻译： 在本发明中，提供了固定定子，转子，其设置在定子的旋转中心的外侧的状态，用于将薄板保持在转子上的保持机构，以及测量部， 薄板的特性，能够避免薄板附近的转子旋转产生的风，抑制薄板的振动。 此外，由于可以使暴露于薄板的部分最小化，因此可以实现安全的测量。