公开(公告)号：US20070051887A1

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：US11513411

申请日：2006-08-31

申请人： Kishio Hidaka ,  Motoyuki Hirooka ,  Mitsuo Hayashibara ,  Tadashi Fujieda ,  Hiroki Tanaka ,  Noriaki Takeshi ,  Takafumi Morimoto ,  Satoshi Sekino ,  Masato Takashina ,  Yuki Uozumi

发明人： Kishio Hidaka ,  Motoyuki Hirooka ,  Mitsuo Hayashibara ,  Tadashi Fujieda ,  Hiroki Tanaka ,  Noriaki Takeshi ,  Takafumi Morimoto ,  Satoshi Sekino ,  Masato Takashina ,  Yuki Uozumi

IPC分类号： G21K7/00

CPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/12

摘要： The present invention provides a cantilever having a base fixed to an inspecting apparatus, a beam protruding from the base, and a probe fixed to an end of the beam, wherein: the probe is formed by use of a carbon nanotube; and the probe is fixed by metal layers from at least two directions when the cantilever is operated, the probe protrudes in a direction in which a sample is fixed. It is possible to prevent the probe from warping and suppress image failures during observation of a sample.

摘要翻译： 本发明提供了一种悬臂，其具有固定在检查装置上的基座，从基座突出的梁和固定在梁的端部的探针，其中：通过使用碳纳米管形成探针; 并且当悬臂被操作时，探针从至少两个方向由金属层固定，探针沿固定样品的方向突出。 可以在观察样品期间防止探头翘曲并抑制图像故障。