公开(公告)号：US06844121B2

公开(公告)日：2005-01-18

申请号：US10329576

申请日：2002-12-27

申请人： Eric Wang ,  Robin Shyu ,  Jim Chung ,  Michael Kuo

发明人： Eric Wang ,  Robin Shyu ,  Jim Chung ,  Michael Kuo

IPC分类号： G02B5/20 ,  G03F7/00 ,  G03F7/30 ,  G03F9/00

CPC分类号： G02B5/201 ,  G03F7/0007

摘要： A method of manufacturing color filter comprising the steps of forming a metal layer and a photoresistor layer on a substrate; defining a dent over the photoresistor layer and removing the metal layer below the dent; depositing an optical filter material over the resulting structure at relative high temperature, lift off the photoresistor layer by etching the metal layer. The optical filter material can be fabricated at higher temperature (300-400° C.) than conventional cold process, the extinction ratio of the filter made by the optical filter material can be as high as 90% to enhance the performance of the projector system.

摘要翻译： 一种制造滤色器的方法，包括以下步骤：在基底上形成金属层和光敏电阻层; 在所述光敏电阻层上限定凹陷并去除所述凹陷下方的所述金属层; 在相对高的温度下在所得结构上沉积滤光材料，通过蚀刻金属层剥离光敏电阻层。 滤光材料可以在比常规冷加工更高的温度（300-400℃）下制造，由滤光器材料制成的滤光片的消光比可以高达90％以增强投影仪系统的性能 。