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公开(公告)号：US07741936B1
公开(公告)日：2010-06-22
申请号：US11849703
申请日：2007-09-04
CPC分类号： H01P1/127 , H01F21/04 , H01F2017/0046 , H01P3/003 , H01P5/04
摘要： The present invention provides a monolithic inductor developed using radio frequency micro electromechanical (RF MEMS) techniques. In a particular embodiment of the present invention, a tunable radio frequency microelectromechanical inductor includes a coplanar waveguide and a direct current actuatable contact switch positioned to vary the effective width of a narrow inductive section of the center conductor of the CPW line upon actuation the DC contact switch. In a specific embodiment of the present invention, the direct current actuatable contact switch is a diamond air-bridge integrated on an alumina substrate to realize an RF switch in the CPW and microstrip topology.
摘要翻译： 本发明提供使用射频微机电（RF MEMS）技术开发的单片电感器。 在本发明的特定实施例中，可调谐射频微机电感应器包括共面波导和直流可动触点开关，其定位成在致动DC触点时改变CPW线的中心导体的窄电感部分的有效宽度 开关。 在本发明的具体实施例中，直流可触发接触开关是集成在氧化铝基板上的金刚石空气桥，以实现CPW和微带拓扑中的RF开关。
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公开(公告)号：US07274278B2
公开(公告)日：2007-09-25
申请号：US11162421
申请日：2005-09-09
摘要： The present invention provides a monolithic inductor developed using radio frequency micro electromechanical (RF MEMS) techniques. In a particular embodiment of the present invention, a tunable radio frequency microelectromechanical inductor includes a coplanar waveguide and at least one direct current actuatable contact switch positioned to vary the effective width of a narrow inductive section of the center conductor of the CPW line upon actuation the DC contact switch.
摘要翻译： 本发明提供使用射频微机电（RF MEMS）技术开发的单片电感器。 在本发明的特定实施例中，可调谐射频微机电感应器包括共面波导和至少一个直流可动触点开关，其定位成在致动时改变CPW线的中心导体的窄电感部分的有效宽度 直流触点开关
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公开(公告)号：US20060290450A1
公开(公告)日：2006-12-28
申请号：US11162421
申请日：2005-09-09
IPC分类号： H01P1/10
摘要： The present invention provides a monolithic inductor developed using radio frequency micro electromechanical (RF MEMS) techniques. In a particular embodiment of the present invention, a tunable radio frequency microelectromechanical inductor includes a coplanar waveguide and at least one direct current actuatable contact switch positioned to vary the effective width of a narrow inductive section of the center conductor of the CPW line upon actuation the DC contact switch.
摘要翻译： 本发明提供使用射频微机电（RF MEMS）技术开发的单片电感器。 在本发明的特定实施例中，可调谐射频微机电感应器包括共面波导和至少一个直流可动触点开关，其定位成在致动时改变CPW线的中心导体的窄电感部分的有效宽度 直流触点开关
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