公开(公告)号：US09016125B2

公开(公告)日：2015-04-28

申请号：US13384474

申请日：2010-07-13

申请人： Philippe Andreucci ,  Laurent Duraffourg ,  Carine Marcoux ,  Pierre Brianceau ,  Sebastien Hentz ,  Stephane Minoret ,  Edward Myers ,  Michael Roukes

发明人： Philippe Andreucci ,  Laurent Duraffourg ,  Carine Marcoux ,  Pierre Brianceau ,  Sebastien Hentz ,  Stephane Minoret ,  Edward Myers ,  Michael Roukes

IPC分类号： G01P15/10 ,  G01P15/097 ,  B81B3/00 ,  G01N29/02 ,  G01P15/12

CPC分类号： G01P15/097 ,  B81B3/0021 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/058 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0427 ,  G01P15/123

摘要： A nano electro-mechanical system (NEMS) formed on a substrate is provided including at least one fixed part associated with the substrate and at least one movable part in relation to the substrate, the system including a transduction component configured to excite the movable part to confer on it a movement and/or to detect a movement of the movable part, the transduction component including at least one electrically conductive material. The electrically conductive material is made of an AlSi alloy based deposition, the deposition being supported at least in part by the movable part of the system.

摘要翻译： 提供了形成在基板上的纳米机电系统（NEMS），其包括与所述基板相关联的至少一个固定部分和相对于所述基板的至少一个可移动部件，所述系统包括被构造成将所述可移动部件激发到 赋予其运动和/或检测可移动部件的运动，所述换能部件包括至少一种导电材料。 导电材料由基于AlSi合金的沉积制成，沉积物至少部分由系统的可移动部分支撑。

公开(公告)号：US20120272742A1

公开(公告)日：2012-11-01

申请号：US13384474

申请日：2010-07-13

申请人： Philippe Andreucci ,  Laurent Duraffourg ,  Carine Marcoux ,  Pierre Brianceau ,  Sebastien Hentz ,  Stephane Minoret ,  Edward Myers ,  Michael Roukes

发明人： Philippe Andreucci ,  Laurent Duraffourg ,  Carine Marcoux ,  Pierre Brianceau ,  Sebastien Hentz ,  Stephane Minoret ,  Edward Myers ,  Michael Roukes

IPC分类号： G01L1/18 ,  B81B3/00

CPC分类号： G01P15/097 ,  B81B3/0021 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/058 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/014 ,  G01N2291/0427 ,  G01P15/123

摘要： The invention relates to a nano electro- mechanical system (NEMS) formed on a substrate (21) and comprising at least one fixed part associated with the substrate and at least one movable part (23) in relation to the substrate, said system comprising transduction means (24) capable of exciting the movable part to confer on it a movement and/or to detect a movement of movable part, the transduction means comprising at least one electrically conductive material. The electrically conductive material is made of an AlSi alloy based deposition, said deposition being supported at least in part by the movable part of the system.

摘要翻译： 本发明涉及一种形成在基片（21）上的纳米电子机械系统（NEMS），它包括至少一个与该基片有关的固定部分和至少一个相对于该基片的可动部分（23），该系统包括转导 能够激励可移动部分以赋予运动和/或检测可移动部分的运动的装置（24），所述转导装置包括至少一种导电材料。 导电材料由基于AlSi合金的沉积制成，所述沉积至少部分地由系统的可移动部分支撑。