公开(公告)号：US20050096782A1

公开(公告)日：2005-05-05

申请号：US10696937

申请日：2003-10-30

申请人： T-Chun Chen ,  Hsien Hsu ,  Tse-An Chou ,  Ming Wang ,  Larry Jann

发明人： T-Chun Chen ,  Hsien Hsu ,  Tse-An Chou ,  Ming Wang ,  Larry Jann

IPC分类号： G05B19/418 ,  G06F7/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32096 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67242 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20

摘要： A system and method for automated sorter operations including a storage device and a sorting module. The storage device stores multiple process records, each record including an identity and a current status. The sorting module receives a wafer lot identity and acquires the current status from the process record accordingly. The sorting module issues a first status setting instruction to a manufacturing execution system (MES) to release the wafer lot, issues a flow instruction with sorting recipes directing the MES to perform a sorter operation, and issues a second status setting Instruction to the MES to hold or bank the wafer lot.

摘要翻译： 一种用于自动分拣机操作的系统和方法，包括存储设备和分拣模块。 存储设备存储多个进程记录，每个记录包括身份和当前状态。 分类模块接收晶片批次标识并相应地从过程记录中获取当前状态。 分拣模块向制造执行系统（MES）发出第一状态设置指令以释放晶片批次，发出指令MES以执行分拣机操作的排序配方的流程指令，并向MES发出第二状态设置指令 持有或存放晶圆批次。