公开(公告)号：US5520501A

公开(公告)日：1996-05-28

申请号：US441495

申请日：1995-05-15

申请人： Gisuke Kouno ,  Takuji Ashikari

发明人： Gisuke Kouno ,  Takuji Ashikari

IPC分类号： C23C14/50 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/205 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  B65G47/90

CPC分类号： H01L21/68707 ,  Y10S294/907 ,  Y10S414/141

摘要： A wafer holding apparatus comprises a susceptor unit having wafer support grooves where wafers are detachably fixed, a plurality of chuck claws so provided as to be movable by air cylinders relative to a chuck body and adapted to hold the outer edge of the wafer, a transfer arm for transferring the chuck body to a predetermined position, and an automatic position correcting device for automatically correcting the positions of the chucks relative to the wafer support groove.

摘要翻译： 晶片保持装置包括具有晶片支撑槽的基座单元，晶片支撑槽可拆卸地固定，多个卡盘爪被设置成能够相对于卡盘体由气缸移动并且适于保持晶片的外边缘，转印 用于将卡盘主体传送到预定位置的臂，以及用于自动校正卡盘相对于晶片支撑槽的位置的自动位置校正装置。