公开(公告)号：US07577537B2

公开(公告)日：2009-08-18

申请号：US12050425

申请日：2008-03-18

申请人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

发明人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

IPC分类号： G06F15/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31372 ,  G05B2219/32135 ,  G05B2219/32328 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26

摘要： A computer program product and system of providing a dynamic sampling plan for integrated metrology is disclosed. The computer program product may include a computer readable medium that includes a computer readable program, wherein the computer readable program when executed on a computer causes the computer to: model a sampling plan for use with a factory level advanced processing control (FL-APC) system; receive a request for a sampling plan; and send a recommended sampling plan, based upon the request and the modeling. The recommended sampling plan may be sent to an equipment interface (EI) and on to a tool for implementation in a manufacturing environment.

摘要翻译： 公开了一种提供综合测量动态采样计划的计算机程序产品和系统。 计算机程序产品可以包括计算机可读介质，其包括计算机可读程序，其中当在计算机上执行时所述计算机可读程序使得所述计算机：对用于工厂级高级处理控制（FL-APC）的采样计划进行建模， 系统; 收到抽样方案的请求; 并根据请求和建模发送推荐的抽样计划。 推荐的采样计划可以发送到设备接口（EI），并发送到在制造环境中实现的工具。

公开(公告)号：US07489980B2

公开(公告)日：2009-02-10

申请号：US11460450

申请日：2006-07-27

申请人： Gary W Behm ,  Emily M Hwang ,  Yue Li ,  Teresita Q Magtoto

发明人： Gary W Behm ,  Emily M Hwang ,  Yue Li ,  Teresita Q Magtoto

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/4188 ,  G05B2219/31395 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/24

摘要： Integration of factory level advanced process control (FL-APC) system and tool level advanced process control (TL-APC) system using selectable APC operation modes indicating different operational settings for the FL-APC system and at least one TL-APC system is disclosed. During operation, the FL-APC system controls operation of the TL-APC system. The invention allows a manufacturing execution system (MES) to have additional capability to run the process control functions at FL-APC system and/or TL-APC system, and allows integration of a variety of different tools with a TL-APC system. An implementation method, system and program product are also disclosed.

摘要翻译： 公开了使用可选APC操作模式的工厂级高级过程控制（FL-APC）系统和工具级高级过程控制（TL-APC）系统的集成，其中指示用于FL-APC系统和至少一个TL-APC系统的不同操作设置 。 在运行期间，FL-APC系统控制TL-APC系统的运行。 本发明允许制造执行系统（MES）具有在FL-APC系统和/或TL-APC系统上运行过程控制功能的额外能力，并允许将各种不同的工具与TL-APC系统集成。 还公开了一种实现方法，系统和程序产品。

公开(公告)号：US07899566B2

公开(公告)日：2011-03-01

申请号：US12348026

申请日：2009-01-02

申请人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue Li ,  Teresita Q. Magtoto

发明人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue Li ,  Teresita Q. Magtoto

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/4188 ,  G05B2219/31395 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/24

摘要： Integration of factory level advanced process control (FL-APC) system and tool level advanced process control (TL-APC) system using selectable APC operation modes indicating different operational settings for the FL-APC system and at least one TL-APC system is disclosed. During operation, the FL-APC system controls operation of the TL-APC system. The invention allows a manufacturing execution system (MES) to have additional capability to run the process control functions at FL-APC system and/or TL-APC system, and allows integration of a variety of different tools with a TL-APC system. An implementation method, system and program product are also disclosed.

摘要翻译： 公开了使用可选APC操作模式的工厂级高级过程控制（FL-APC）系统和工具级高级过程控制（TL-APC）系统的集成，其中指示用于FL-APC系统和至少一个TL-APC系统的不同操作设置 。 在运行期间，FL-APC系统控制TL-APC系统的运行。 本发明允许制造执行系统（MES）具有在FL-APC系统和/或TL-APC系统上运行过程控制功能的额外能力，并允许将各种不同的工具与TL-APC系统集成。 还公开了一种实现方法，系统和程序产品。

公开(公告)号：US20090118851A1

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：US12348026

申请日：2009-01-02

申请人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue Li ,  Teresita Q. Magtoto

发明人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue Li ,  Teresita Q. Magtoto

IPC分类号： G05B19/418 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B19/4188 ,  G05B2219/31395 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/24

摘要： Integration of factory level advanced process control (FL-APC) system and tool level advanced process control (TL-APC) system using selectable APC operation modes indicating different operational settings for the FL-APC system and at least one TL-APC system is disclosed. During operation, the FL-APC system controls operation of the TL-APC system. The invention allows a manufacturing execution system (MES) to have additional capability to run the process control functions at FL-APC system and/or TL-APC system, and allows integration of a variety of different tools with a TL-APC system. An implementation method, system and program product are also disclosed.

摘要翻译： 公开了使用可选APC操作模式的工厂级高级过程控制（FL-APC）系统和工具级高级过程控制（TL-APC）系统的集成，其中指示用于FL-APC系统和至少一个TL-APC系统的不同操作设置 。 在运行期间，FL-APC系统控制TL-APC系统的运行。 本发明允许制造执行系统（MES）具有在FL-APC系统和/或TL-APC系统上运行过程控制功能的额外能力，并允许将各种不同的工具与TL-APC系统集成。 还公开了一种实现方法，系统和程序产品。

公开(公告)号：US20080167830A1

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：US12050425

申请日：2008-03-18

申请人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

发明人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31372 ,  G05B2219/32135 ,  G05B2219/32328 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26

摘要： A computer program product and system of providing a dynamic sampling plan for integrated metrology is disclosed. The computer program product may include a computer readable medium that includes a computer readable program, wherein the computer readable program when executed on a computer causes the computer to: model a sampling plan for use with a factory level advanced processing control (FL-APC) system; receive a request for a sampling plan; and send a recommended sampling plan, based upon the request and the modeling. The recommended sampling plan may be sent to an equipment interface (EI) and on to a tool for implementation in a manufacturing environment.

摘要翻译： 公开了一种提供综合测量动态采样计划的计算机程序产品和系统。 计算机程序产品可以包括计算机可读介质，其包括计算机可读程序，其中当在计算机上执行时所述计算机可读程序使所述计算机模拟采样计划以用于工厂级高级处理控制（FL-APC） 系统; 收到抽样方案的请求; 并根据请求和建模发送推荐的抽样计划。 推荐的采样计划可以发送到设备接口（EI），并发送到在制造环境中实现的工具。

公开(公告)号：US07398172B2

公开(公告)日：2008-07-08

申请号：US11421082

申请日：2006-05-31

申请人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

发明人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

IPC分类号： G06F15/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31372 ,  G05B2219/32135 ,  G05B2219/32328 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26

摘要： A method and system of providing a dynamic sampling plan for integrated metrology is disclosed. The method may include modeling a sampling plan for use with a factory level advanced processing control (FL-APC) system and sending a recommended sampling plan, in response to receiving a request for a sampling plan, wherein the recommended sampling plan is based upon the modeling and the request. The recommended sampling plan may be sent to an equipment interface (EI) and on to a tool for implementation in a manufacturing environment.

摘要翻译： 公开了一种提供综合计量学动态采样计划的方法和系统。 该方法可以包括对采样计划建模以用于工厂级高级处理控制（FL-APC）系统，并响应于接收到采样计划的请求而发送推荐的采样计划，其中推荐的采样计划基于 建模和请求。 推荐的采样计划可以发送到设备接口（EI），并发送到在制造环境中实现的工具。

公开(公告)号：US20070282549A1

公开(公告)日：2007-12-06

申请号：US11421082

申请日：2006-05-31

申请人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

发明人： Gary W. Behm ,  Emily M. Hwang ,  Yue J. Li ,  Teresita Q. Magtoto ,  Derek C. Stoll

IPC分类号： G06F19/00 ,  G06F17/40

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31372 ,  G05B2219/32135 ,  G05B2219/32328 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26

摘要： A method and system of providing a dynamic sampling plan for integrated metrology is disclosed. The method may include modeling a sampling plan for use with a factory level advanced processing control (FL-APC) system and sending a recommended sampling plan, in response to receiving a request for a sampling plan, wherein the recommended sampling plan is based upon the modeling and the request. The recommended sampling plan may be sent to an equipment interface (EI) and on to a tool for implementation in a manufacturing environment.

摘要翻译： 公开了一种提供综合计量学动态采样计划的方法和系统。 该方法可以包括对采样计划建模以用于工厂级高级处理控制（FL-APC）系统，并响应于接收到采样计划的请求而发送推荐的采样计划，其中推荐的采样计划基于 建模和请求。 推荐的采样计划可以发送到设备接口（EI），并发送到在制造环境中实现的工具。

公开(公告)号：US07113845B1

公开(公告)日：2006-09-26

申请号：US11161603

申请日：2005-08-09

申请人： Gary W. Behm ,  Yue Li ,  Emily M. Hwang ,  Teresita Q. Magtoto

发明人： Gary W. Behm ,  Yue Li ,  Emily M. Hwang ,  Teresita Q. Magtoto

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/4188 ,  G05B2219/31395 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/24

摘要： Integration of factory level advanced process control (FL-APC) system and tool level advanced process control (TL-APC) system using selectable APC operation modes indicating different operational settings for the FL-APC system and at least one TL-APC system is disclosed. During operation, the FL-APC system controls operation of the TL-APC system. The invention allows a manufacturing execution system (MES) to have additional capability to run the process control functions at FL-APC system and/or TL-APC system, and allows integration of a variety of different tools with a TL-APC system.

摘要翻译： 公开了使用可选APC操作模式的工厂级高级过程控制（FL-APC）系统和工具级高级过程控制（TL-APC）系统的集成，其中指示用于FL-APC系统和至少一个TL-APC系统的不同操作设置 。 在运行期间，FL-APC系统控制TL-APC系统的运行。 本发明允许制造执行系统（MES）具有在FL-APC系统和/或TL-APC系统上运行过程控制功能的额外能力，并允许将各种不同的工具与TL-APC系统集成。