公开(公告)号：US07453581B2

公开(公告)日：2008-11-18

申请号：US10578652

申请日：2004-11-02

申请人： Peter Ferdinand Greve ,  Albert Bijlsma ,  Willem Jannis Rosier

发明人： Peter Ferdinand Greve ,  Albert Bijlsma ,  Willem Jannis Rosier

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G01M11/0292 ,  G01M11/0221

摘要： The focus of an optical system (20) can be determined in a reliable and accurate way by arranging a first and second test object (62,64) having a periodic structure at different sides of the focal plane (66) of the optical system and determining the difference in modulation depth of the images formed on different areas (32,34) of a radiation-sensitive detection system (30).

摘要翻译： 可以通过在光学系统的焦平面（66）的不同侧布置具有周期性结构的第一和第二测试对象（62,64），以可靠和准确的方式来确定光学系统（20）的焦点， 确定在辐射敏感检测系统（30）的不同区域（32,34）上形成的图像的调制深度差异。