公开(公告)号：US20100108982A1

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：US12608607

申请日：2009-10-29

申请人： Er-Xuan Ping ,  Huiwen Xu ,  April D. Schricker ,  Wipul Permsiri Jayasekara

发明人： Er-Xuan Ping ,  Huiwen Xu ,  April D. Schricker ,  Wipul Permsiri Jayasekara

IPC分类号： H01L47/00

CPC分类号： H01L51/0591 ,  B82Y10/00 ,  H01L27/2409 ,  H01L27/2481 ,  H01L45/04 ,  H01L45/12 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/149 ,  H01L45/1608 ,  H01L45/1616 ,  H01L45/1675 ,  H01L51/0048

摘要： Methods in accordance with this invention form a microelectronic structure by forming a carbon nano-tube (“CNT”) layer, and forming a carbon layer (“carbon liner”) above the CNT layer, wherein the carbon liner comprises: (1) a first portion disposed above and in contact with the CNT layer; and/or (2) a second portion disposed in and/or around one or more carbon nano-tubes in the CNT layer. Numerous other aspects are provided.

摘要翻译： 根据本发明的方法通过形成碳纳米管（“CNT”）层并在CNT层上形成碳层（“碳衬垫”）形成微电子结构，其中碳衬垫包括：（1） 第一部分设置在CNT层之上并与CNT层接触; 和/或（2）设置在CNT层中的一个或多个碳纳米管中和/或周围的第二部分。 提供了许多其他方面。