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1.发明申请MICRO STRUCTURE, MICRO ACTUATORS, METHOD OF FABRICATING MICRO STRUCTURE AND MICRO ACTUATORS 有权微结构，微型致动器，微结构和微致动器的制作方法公开(公告)号：US20130141769A1
公开(公告)日：2013-06-06
申请号：US13487375
申请日：2012-06-04
申请人： Jongbaeg KIM , Youngkee EUN , Jae-Ik LEE , Jungwook CHOI , Youngsup SONG
发明人： Jongbaeg KIM , Youngkee EUN , Jae-Ik LEE , Jungwook CHOI , Youngsup SONG
CPC分类号： B81C1/0015 , B81B2203/0136 , B82Y30/00 , G02B26/0841
摘要： A method for fabricating a micro-structure is provided, which can simply and easily fabricate the micro-structure by a batch process of directly forming a highly aligned nano-material array on a micro-structure to be used as an adhesive material during plastic deformation of the micro-structure without the use of existing complicated fabrication process.
摘要翻译： 提供了一种制造微结构的方法，其可以通过在微结构上直接形成高度排列的纳米材料阵列以在塑性变形期间用作粘合剂材料的间歇方法来简单且容易地制造微结构 的微结构，而不使用现有的复杂制造工艺。
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2.发明授权Micro structure, micro actuators, method of fabricating micro structure and micro actuators 有权微结构，微执行器，微结构微型致动器的制造方法公开(公告)号：US08810881B2
公开(公告)日：2014-08-19
申请号：US13487375
申请日：2012-06-04
申请人： Jongbaeg Kim , Youngkee Eun , Jae-Ik Lee , Jungwook Choi , Youngsup Song
发明人： Jongbaeg Kim , Youngkee Eun , Jae-Ik Lee , Jungwook Choi , Youngsup Song
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： B81C1/0015 , B81B2203/0136 , B82Y30/00 , G02B26/0841
摘要： A method for fabricating a micro-structure is provided, which can simply and easily fabricate the micro-structure by a batch process of directly forming a highly aligned nano-material array on a micro-structure to be used as an adhesive material during plastic deformation of the micro-structure without the use of existing complicated fabrication process.
摘要翻译： 提供了一种制造微结构的方法，其可以通过在微结构上直接形成高度排列的纳米材料阵列以在塑性变形期间用作粘合剂材料的间歇方法来简单且容易地制造微结构 的微结构，而不使用现有的复杂制造工艺。
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