公开(公告)号：US06934595B1

公开(公告)日：2005-08-23

申请号：US10375318

申请日：2003-02-26

Applicant: Allan Daniel O'Brien

Inventor： Allan Daniel O'Brien

IPC: G06F19/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67259

Abstract: In a system and method to reduce wafer breakages in a wafer handling system, the position of a wafer on a platen is monitored and closing of the platen on a vacuum chamber is prevented if a misaligned wafer is detected. In one embodiment the wafer position is monitored by monitoring the air pressure in vacuum channels of a platen faceplate.

Abstract translation: 在减小晶片处理系统中的晶片破损的系统和方法中，如果检测到未对准的晶片，则监测晶片在压板上的位置，并且防止压板在真空室上的闭合。 在一个实施例中，通过监视压板面板的真空通道中的空气压力来监视晶片位置。