公开(公告)号：US07086451B2

公开(公告)日：2006-08-08

申请号：US10901737

申请日：2004-07-28

申请人： Charles Leu ,  Tai-Cherng Yu ,  Ga-Lanee Chen ,  Jyh-Chain Lin

发明人： Charles Leu ,  Tai-Cherng Yu ,  Ga-Lanee Chen ,  Jyh-Chain Lin

IPC分类号： F28F7/00

CPC分类号： H01L23/373 ,  B82Y10/00 ,  H01L23/4093 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T29/4935 ,  H01L2924/00

摘要： A heat sink (11) includes a base (12), a plurality of fins (14) extending from a first surface of the base, and a plurality of carbon nanotubes (18) formed on an opposite second surface (16) of the base. The carbon nanotubes are substantially parallel to each other and substantially perpendicular to the base. A method for manufacturing the heat sink includes the steps of: (a) providing a heat sink preform comprising a base and a plurality of fins extending from a first surface of the base; (b) polishing an opposite second surface of base; (c) depositing a catalyst film on the second surface of the base; and (d) providing a carbon source gas to grow a plurality of carbon nanotubes on the second surface of the base.

摘要翻译： 散热器（11）包括基座（12），从基座的第一表面延伸的多个翅片（14）和形成在基座的相对的第二表面（16）上的多个碳纳米管（18） 。 碳纳米管基本上彼此平行并基本上垂直于基底。 制造散热器的方法包括以下步骤：（a）提供散热器预成型件，其包括基部和从基部的第一表面延伸的多个翅片; （b）抛光底座的相对的第二表面; （c）在所述基底的第二表面上沉积催化剂膜; 和（d）提供碳源气体以在基底的第二表面上生长多个碳纳米管。