ACTIVE METAMATERIAL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
    1.
    发明申请
    ACTIVE METAMATERIAL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME 有权
    主动元件装置及其制造方法

    公开(公告)号:US20130002520A1

    公开(公告)日:2013-01-03

    申请号:US13431142

    申请日:2012-03-27

    IPC分类号: H01Q15/02 B29C41/22

    CPC分类号: H01Q15/0086 Y10S977/734

    摘要: Provided are an active metamaterial device operating at a high speed and a manufacturing method thereof. The active metamaterial device includes a first dielectric layer, a lower electrode disposed on the first dielectric layer, a second dielectric layer disposed on the lower electrode, metamaterial patterns disposed on the second dielectric layer, a couple layer disposed on the metamaterial patterns and the second dielectric layer, a third dielectric layer disposed on the couple layer, and an upper electrode disposed on the third dielectric layer.

    摘要翻译: 提供了以高速运转的活性超材料装置及其制造方法。 活性超材料装置包括第一电介质层,设置在第一电介质层上的下电极,设置在下电极上的第二电介质层,设置在第二电介质层上的超材料图案,设置在超材料图案上的耦合层,第二介电层 电介质层,设置在所述耦合层上的第三电介质层,以及设置在所述第三电介质层上的上电极。