公开(公告)号：US20110253174A1

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：US13075427

申请日：2011-03-30

Applicant: Christophe Martin ,  Sëbastien Collura

Inventor： Christophe Martin ,  Sëbastien Collura

IPC: B08B7/04

CPC classification number: H01L21/02057 ,  B08B5/00 ,  B08B7/0071

Abstract: A method for decontaminating at least one object contained in a chamber, the method including a succession of alternated steps of lowering and increasing the pressure in the chamber.

Abstract translation: 一种用于对包含在腔室中的至少一个物体进行净化的方法，该方法包括一系列降低和增加腔室中的压力的​​交替步骤。