公开(公告)号：US06848876B2

公开(公告)日：2005-02-01

申请号：US09760147

申请日：2001-01-12

申请人： Daniel J. Babbs ,  William J. Fosnight ,  Tim Cosentino ,  Mark Sammut ,  Pascal Pinna ,  Russell Zemen

发明人： Daniel J. Babbs ,  William J. Fosnight ,  Tim Cosentino ,  Mark Sammut ,  Pascal Pinna ,  Russell Zemen

IPC分类号： B65G1/04 ,  B65G1/16 ,  B65G49/07 ,  G03F7/20

CPC分类号： H01L21/67769 ,  B65G1/045 ,  B65G1/16 ,  G03F7/70741 ,  Y10S414/138

摘要： A reticle management system is disclosed including a sorter coupled to one or more stockers that allow a customized configuration of the overall reticle management system. The stockers may be bare reticle stockers, closed container reticle stockers, or both. In embodiments of the present invention, the reticle management system includes between one and six individual bare reticle stockers and/or closed container stockers for storing reticles affixed to a reticle sorter. The sorter includes a reticle inspection station for inspecting the reticles, a plurality of input/output (I/O) load ports and a reticle handling robot for transferring the reticles between the stockers, the inspection station and the I/O load ports. The management system further includes a control unit for housing control electronics for the system.

摘要翻译： 公开了一种掩模版管理系统，其包括耦合到一个或多个存储器的分类器，其允许整个标线管理系统的定制配置。 储料器可以是裸露的光罩储存器，封闭的容器标线贮存器或两者。 在本发明的实施例中，掩模版管理系统包括一个和六个单独裸光掩模存储器和/或封闭的容器存放器，用于存放附着在掩模版分选机上的光罩。 分拣机包括用于检查掩模版的掩模版检查站，多个输入/输出（I / O）装载端口和用于在储料器，检查站和I / O装载端口之间传送掩模版的掩模版处理机器人。 管理系统还包括用于容纳系统的控制电子装置的控制单元。