公开(公告)号：US07566873B1

公开(公告)日：2009-07-28

申请号：US11638805

申请日：2006-12-14

申请人： David Walker ,  Salam Harb ,  Vassil Spasov ,  David Stites ,  Izzy Lewis ,  Marian Mankos

发明人： David Walker ,  Salam Harb ,  Vassil Spasov ,  David Stites ,  Izzy Lewis ,  Marian Mankos

IPC分类号： G01N23/00 ,  G21K7/00

CPC分类号： G02B21/0016 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24592

摘要： One embodiment relates to an apparatus for inspecting a substrate using charged particles. The apparatus includes an illumination subsystem, an objective subsystem, a projection subsystem, and a beam separator interconnecting those subsystems. The apparatus further includes a detection system which includes a scintillating screen, a detector array, and an optical coupling apparatus positioned therebetween. The optical coupling apparatus includes both refractive and reflective elements. Other embodiments and features are also disclosed.

摘要翻译： 一个实施例涉及一种使用带电粒子检查基板的装置。 该装置包括照明子系统，客观子系统，投影子系统和互连这些子系统的分束分离器。 该装置还包括检测系统，其包括闪烁屏，检测器阵列和位于它们之间的光耦合装置。 光耦合装置包括折射和反射元件。 还公开了其它实施例和特征。